[发明专利]喷射异常检测装置、液滴喷射装置及显示装置的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种喷射异常检测装置、液滴喷射装置及显示装置的制造方法，特别是涉及检测喷射液滴的液滴喷射头的喷射异常的喷射异常检测装置、具有该喷射异常检测装置的液滴喷射装置以及使用该液滴喷射装置的显示装置的制造方法。

背景技术

液滴喷射装置通常用于制造液晶显示装置、有机EL(场致发光)显示装置、电子放出显示装置、等离子显示装置以及电泳显示装置等各种显示装置。该液滴喷射装置具有从多个喷嘴分别向涂布对象物喷射液滴的液滴喷射头，利用该液滴喷射头使多个液滴投射到涂布对象物上，形成规定图案的点列，制造各种涂布体(例如滤色片等)。

在这样的液滴喷射装置中，不喷射的确认通常是在涂布动作前进行。作为该不喷射的原因，可以例举出气泡或灰尘等。关于气泡检测，有人提出判断检测气泡的有无的技术或判别气泡向压电元件的附着的有无的技术(例如参照专利文献1和专利文献2)。即使在涂布动作前没有确认不喷射的情况下，由于气泡或灰尘等的混入程度，在根据涂布图案数据进行涂布的涂布动作的途中也会发生不喷射或喷射量不足等喷射异常。特别是，由于涂布动作中的干扰振动或气泡成长等原因，有时会发生喷射异常。

[专利文献1]特开平4-29851号公报

[专利文献2]特开平11-334102号公报

发明内容

但是，现有技术无法检测出前述的涂布动作中的喷射异常，因此即使发生喷射异常，在通过其它工序中的检查知道发生喷射异常之前，也会继续产出涂布不良品。因此，利用液滴喷射头的涂布工序的成品率降低。

本发明鉴于上述情况而作出，其目的在于提供一种能够防止起因于喷射异常的成品率的降低的喷射异常检测装置、液滴喷射装置及显示装置的制造方法。

本发明的实施方式的第一特征是在喷射异常检测装置中具备：多个输入电路，分别从液滴喷射头输入多个压电元件各自的电压值，所述液滴喷射头分别通过所述多个压电元件从多个喷嘴喷射液滴；选择电路，从多个输入电路中依次选择一个输入电路；判定部，根据输入到所选择的输入电路的电压值，判定通过与所选择的输入电路对应的压电元件喷射液滴的喷嘴的喷射良否；和输出电路，输出喷嘴的喷射良否判定结果。

本发明的实施方式的第二特征是在液滴喷射装置中具备：液滴喷射头，分别通过多个压电元件从多个喷嘴喷射液滴；以及喷射异常检测装置，该喷射异常检测装置具备：多个输入电路，分别输入多个压电元件各自的电压值；选择电路，从多个输入电路中依次选择一个输入电路；判定部，根据输入到所选择的输入电路的电压值，判定通过与所选择的输入电路对应的压电元件喷射液滴的喷嘴的喷射良否；和输出电路，输出喷嘴的喷射良否判定结果。

本发明的实施方式的第三特征是在显示装置的制造方法中，使用上述两个特征的液滴喷射装置，向涂布对象物喷射液滴来进行涂布。

根据本发明，可以提供能够防止起因于喷射异常的成品率的降低的喷射异常检测装置、液滴喷射装置以及显示装置的制造方法。

附图说明

图1是表示本发明一个实施方式的液滴喷射装置的概略结构的斜视图。

图2是表示图1所示的液滴喷射装置所具有的液滴喷射头的概略结构的模式图。

图3是表示图1所示的液滴喷射装置所具有的控制单元以及喷射异常检测装置的概略结构的框图。

图4是表示图3所示的喷射异常检测装置的概略结构的框图。

图5是用于说明喷射异常的检测的说明图。

图6是用于说明基于电压的喷射异常检测的说明图。

图7是用于说明基于功率谱密度的喷射异常检测的说明图。

符号说明

1：液滴喷射装置、7：液滴喷射头、7c：喷嘴、23：喷射异常检测装置、23a：输入电路、23b：选择电路、23e：判定部、23f：输出电路、23h：第1存储部(存储器)、23h：第2存储部(存储器)、a1：阈值、a2：阈值、D1～Dn：压电元件。

具体实施方式

参照附图说明本发明的一个实施方式。

如图1所示，本发明的实施方式的液滴喷射装置1具有：用于将液体的墨水作为液滴涂布到涂布对象物的基板2上的墨水涂布盒3；向墨水涂布盒3供给墨水的墨水供给盒4。这些墨水涂布盒3和墨水供给盒4相互邻接地设置在架台5的上表面。

在墨水涂布盒3的内部设置有：保持基板2并使其沿X轴方向以及Y轴方向移动的基板移动机构6；分别具有喷射液滴的液滴喷射头7的多个喷墨头单元8；使这些喷墨头单元8一体地沿X轴方向移动的单元移动机构9；清扫各液滴喷射头7的头维护单元10；和收容墨水的多个墨水缓冲罐11。