[发明专利]压力传感器

权利要求书

1.一种压力传感器，包括：

隔膜，所述隔膜具有可位移的弹性内部部分，其中所述内部部分响应所述隔膜的第一和第二侧之间的压力差而位移；

辐射源，所述辐射源被构造用于发送第一和第二辐射束；

光接收器，所述光接收器被构造用于接收直接来自辐射源的第一辐射束以及第二辐射束经过隔膜的第一侧反射之后的第二辐射束；以及

控制系统，所述控制系统连接至所述辐射源和光接收器，并且用于确定由于隔膜的位移造成的压力差。

2.根据权利要求1的压力传感器，其中，所述隔膜包括发散反射的金属膜。

3.根据权利要求1的压力传感器，其中，所述压力传感器用于测量表压力、绝对压力和压差中的至少一个。

4.根据权利要求1的压力传感器，还包括在所述隔膜的所述第一侧上的光学反射涂层。

5.根据权利要求1的压力传感器，其中，所述控制系统根据第一和第二辐射束产生的干涉图案计算隔膜的位移。

6.根据权利要求5的压力传感器，其中，所述辐射源包括发送光纤，所述发送光纤具有连接至衍射装置的输出，所述衍射装置将源光分离成第一和第二辐射束，其中隔膜位移的改变使得干涉图案包含强度调制光，其中所述控制系统根据强度调制光计算隔膜位移。

7.根据权利要求1的压力传感器，其中，所述弹性内部部分包括聚酰亚胺膜。

8.根据权利要求1的压力传感器，其中，所述弹性内部部分包括聚酯薄膜。

9.根据权利要求1的压力传感器，其中，所述弹性内部部分包括橡胶。