[发明专利]用于平板显示器的薄膜气相沉积的掩模组件

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于平板显示器的薄膜气相沉积的掩模组件。更具体地说，本发明涉及一种框架，多个张紧的单元掩模被固定并支撑在其中，并且掩模组件被形成。

背景技术

近来，平板显示器由于其深度浅、重量轻而解决了阴极射线管的难题，所以得到普及。平板显示器的实例包括有机发光二极管(OLED)显示器、液晶显示器(LCD)和等离子体显示面板(PDP)。

通常，利用预定图案来形成电极和发射层，从而制造平板显示器(例如OLED显示器)。利用掩模组件的气相沉积法可用于形成电极和发射层。

上述在背景技术部分中公开的信息只用于增强对本发明的背景技术的理解，因此，它可包含并不构成对本领域普通技术人员在本国为已知的现有技术的信息。

发明内容

本发明的一个方面是一种用于气相沉积平板显示器的薄膜的掩模组件，其中清洗所述掩模组件以后残留在单元掩模与框架之间的间隙中的清洗液可被最少化，并且防止在所述单元掩模上形成突起和凹陷，以提高气相沉积的精度并使气相沉积误差最小化。

本发明的另一方面是一种用于气相沉积平板显示器的薄膜的掩模组件，其包括框架和多个单元掩模。所述框架包括围绕一开口的一对第一支撑部和一对第二支撑部。所述多个单元掩模具有至少一组图案开口，所述多个单元掩模被固定在所述第一支撑部上，同时所述多个单元掩模上施加有张紧力。所述第一支撑部包括第一表面和第二表面。所述多个单元掩模被固定在所述第一表面上。所述第二表面从第一表面沿所述多个单元掩模的厚度方向具有相对所述第一表面的高度差。

所述第一表面可比第二表面更靠近所述开口，所述第二表面可具有比第一表面的高度低的高度。所述第一支撑部的第一表面的厚度可大于所述第一支撑部的第二表面的厚度。所述第一支撑部的所述第一表面和第二表面的相对表面可被形成为平坦的。

所述第一表面可具有与所述第二支撑部的高度相同的高度。所述第一支撑部可满足关系式：0.2≤W2/W1≤0.4，其中W1表示所述第一支撑部的宽度，W2表示所述第一表面的宽度。

本发明的另一方面是一种用于平板显示器的薄膜气相沉积的掩模组件，所述掩模组件包括：i)包括一对第一支撑部和一对第二支撑部的框架，其中所述两对支撑部被彼此连接，以使连接后的所述两对支撑部的内周界限定一开口；和ii)具有至少一组图案开口的多个单元掩模，其中所述多个单元掩模被固定至所述第一支撑部，同时所述多个单元掩模上施加有张紧力，所述多个单元掩模具有长度和厚度；其中，所述第一支撑部包括：a)连接至所述多个单元掩模的一部分的第一子区域，其中当从所述多个单元掩模的厚度方向观察时，所述第一子区域与所述多个单元掩模的所述一部分重叠，并且，所述第一子区域具有沿所述厚度方向测量的第一高度，和b)沿所述多个单元掩模的长度方向从所述第一子区域延伸的第二子区域，其中当从所述厚度方向观察时，所述第二子区域未被连接至所述多个单元掩模，并与所述多个单元掩模不重叠，并且，所述第二子区域具有与所述第一高度不同的第二高度。

在上述掩模组件中，所述第一子区域可比所述第二子区域更靠近所述开口。在上述掩模组件中，所述第一高度可大于所述第二高度。在上述掩模组件中，所述第一子区域和第二子区域中的每一个均包括彼此相对的上表面和下表面，其中所述第一子区域的上表面可被连接至所述多个单元掩模的所述一部分，并且所述第一子区域和第二子区域的下表面可共同形成平坦表面。在上述掩模组件中，所述第一子区域可具有与所述第二支撑部的高度相同的高度。在上述掩模组件中，所述第一支撑部可满足关系式：0.2≤W2/W1≤0.4，其中W1表示所述第一支撑部的宽度，W2表示所述第一子区域的宽度。

在上述掩模组件中，所述框架可被构造为通过所述开口接收从气相沉积源蒸发的有机材料。在上述掩模组件中，所述第一子区域可被焊接至所述多个单元掩模的所述一部分。

在上述掩模组件中，所述第一子区域具有沿所述多个单元掩模的长度方向测量的第一长度，所述第二子区域具有沿所述长度方向测量的第二长度，并且所述第二长度可大于所述第一长度。