[发明专利]流体装置连接结构和流体装置单元

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于将第一和第二流体装置与连接件联接的流体装置连接结构，以及一种流体装置单元。

背景技术

迄今为止，在半导体制造工艺、液晶制造工艺等中，采用了各种流体装置来用于控制化学液体。例如，这些流体装置可包括诸如流量控制阀和打开/关闭阀的阀、过滤器、诸如压力传感器和流量传感器的传感器、以及诸如接头组件和通道组件的管道组件。近来，通过联接件直接将这些流体装置的连接件彼此连接，以形成用于紧凑设备的整体单元。

图45为传统的流体装置连接结构1100的剖面图。

该传统的流体制造连接结构1100被布置成使得第一流体装置1101和第二流体装置1102分别具有形成有密封槽1105和1106的连接部件1103和1104，在所述密封槽之间装配有密封件1107，且在连接部件1103和1104的连接部分的周边安装有联接件1108。

联接件1108包括筒形螺帽1109和开口环1110。该筒形螺帽1109呈具有一个开口端的筒形形状。另一闭合端形成有连接部件1104的突起1104a插入其中的插入孔1109a。开口环1110呈环形，包括与连接部件1104的外表面接触的内表面以及与螺帽1109的内表面接触的外表面。该环1110由多个开口件构成，从而安装在连接部件1104的外表面上。

联接件1108以这样的方式形成，即，第二流体装置1102的连接部件1104通过插入孔1109a而插入螺帽1109，接着螺帽1109向着第二流体装置1102移位以露出连接部件1104，如图45中的虚线所示，然后将开口环1110配合到连接部件1104的外表面上。之后，如图45中的实线所示，使螺帽1109向着第一流体装置1101滑动，形成在螺帽1109的内表面上的内螺纹1109b与形成在第一流体装置1101的连接部件1103的外表面上的外螺纹1103a接合。螺帽1109拧到连接部件1103上，直到开口环1110邻接连接部件1104的突起1104a。这一螺旋进给使得密封件1107可被配合在密封槽1105和1106内，从而密封了连接部件1103和1104的连接部分(例如，参见JP2006-64080A)。

然而，为了安装开口环1110，传统的流体装置连接结构1100需要用于允许螺帽1109运动的空间以及用于将螺帽1109拧到连接部件1103上的空间。这将需要麻烦的工作以及用于联接流体装置的工作空间。因此，在将传统的流体装置连接结构1100应用到其中以复杂的模式布置许多流体装置的半导体制造设备中时，不能确保有用于将螺帽1109滑到或拧到连接部件1103上的空间。要花费大量的时间将螺帽1109适当地拧到连接部件1103上，以提供预定的密封强度。

发明内容

考虑到上述情况而作出本发明，本发明的目的在于克服上述问题，并提供一种能容易而可靠地联接第一和第二流体装置的流体装置连接结构以及一种流体装置单元。

为了实现本发明的目的，提供一种流体装置连接结构，包括：第一流体装置，该第一流体装置包括树脂制成的第一连接部件、在所述第一连接部件的端面上具有开口端的通道、以及在所述第一连接部件的所述端面内绕所述通道的所述开口端形成的密封槽；第二流体装置，该第二流体装置包括树脂制成的第二连接部件、在所述第二连接部件的端面上具有开口端的通道、以及在所述第二连接部件的所述端面内绕所述第二通道的所述开口端形成的密封槽；密封件，该密封件置于所述第一连接部件和第二连接部件的所述密封槽之间；以及由树脂制成的联接件，该联接件被构造成将所述第一连接部件和所述第二连接部件彼此联接，使得所述密封件被放置在所述第一连接部件和第二连接部件的所述密封槽之间，其中所述第一连接部件包括：第一安装槽，该第一安装槽形成在所述第一连接部件的外周上；以及第一装配槽，该第一装配槽形成在所述第一安装槽和所述第一连接部件的所述端面之间，所述第一装配槽被构造成接收所述联接件，所述第二连接部件包括：第二安装槽，该第二安装槽形成在所述第二连接部件的外周上；第二装配槽，该第二装配槽形成在所述第二安装槽和所述第二连接部件的所述端面之间，所述第二装配槽被构造成接收所述联接件，并且所述联接件包括多个开口件，每个开口件包括保持与所述第一装配槽的端面侧内侧表面接触的第一突出部分以及保持与所述第二装配槽的端面侧内侧表面接触的第二突出部分，所述第一突出部分和所述第二突出部分以预定间距布置。