[发明专利]三氯氢硅生产尾气回收的方法及其专用设备

权利要求书

1.三氯氢硅生产尾气的回收方法，其特征在于该方法包括以下的步骤：

①将三氯氢硅合成产生的尾气经加压后冷凝，使尾气中的大部分氯硅烷被冷凝下来形成冷凝液；

②不凝气体进入吸收塔(3)，吸收塔(3)内用氯硅烷吸收氯化氢得到氯硅烷吸收液，粗氢气从吸收塔(3)塔顶出来；

③然后将冷凝液和氯硅烷吸收液送到解析塔(4)解析氯硅烷中溶解的氯化氢，氯化氢从解析塔(4)塔顶出来；

④解析后的氯硅烷进入回收工序。

2.根据权利要求1所述的三氯氢硅生产尾气的回收方法，其特征在于：步骤①中加压后的压强为0.3～0.8MPa，冷凝的温度为-20℃～-60℃。

3.根据权利要求1所述的三氯氢硅生产尾气的回收方法，其特征在于：步骤②中吸收塔(3)的温度为-20℃～-50℃，压强为0.3～0.8MPa。

4.根据权利要求1所述的三氯氢硅生产尾气的回收方法，其特征在于：步骤③中解析塔(4)塔顶的温度为0℃～-20℃，塔底的温度为50℃～120℃，压强为0.3～0.6MPa。

5.根据权利要求1～4任意一项权利要求所述的三氯氢硅生产尾气的回收方法，其特征在于：步骤③解析后的氯硅烷部分送入吸收塔(3)，作为氯化氢吸收用氯硅烷。

6.根据权利要求1～4任意一项权利要求所述的三氯氢硅生产尾气的回收方法，其特征在于：步骤②得到的粗氢气进入洗涤塔(5)，用四氯化硅液体洗涤进一步除去气体中的氯化氢和氯硅烷得到高纯度的氢气，洗涤塔(5)塔底的洗涤液打入脱低塔(6)，从塔分离出的含有氯化氢、氢气的氯硅烷气体与步骤①的尾气混合再进入分离系统；脱低塔(6)塔釜的四氯化硅经冷却后打入洗涤塔(5)。

7.根据权利要求6所述的三氯氢硅生产尾气的回收方法，其特征在于：洗涤塔(5)的温度为-20℃～-60℃，压强为0.3～0.8MPa；脱低塔(6)塔底的温度为50℃～120℃，塔顶的温度为50℃～120℃，压强为0.3～0.6MPa。

8.用于权利要求1所述的三氯氢硅生产尾气的回收方法的回收设备，其特征在于：该设备包括压缩机(1)、冷凝器(2)、吸收塔(3)和解析塔(4)；压缩机(1)的一端连接尾气管道，另一端连接冷凝器(2)；冷凝器(2)的出气口连接到吸收塔(3)下部的进气口，冷凝器(2)的出料口通过管道与泵连接到解析塔(4)中部的进料口；吸收塔(3)下端的出料口通过泵连接到解析塔(4)中部的进料口，解析塔(4)顶部设有出气口，底部设有出料口。

9.根据权利要求8所述的三氯氢硅生产尾气的回收方法的回收设备，其特征在于：解析塔(4)底部的出料口的连接管道分流成两个管道，其中一个管道连接到吸收塔(3)上部的进料口，另一个管道连接到氯硅烷回收装置。

10.根据权利要求8或9所述的三氯氢硅生产尾气的回收方法的回收设备，其特征在于：该设备还包括洗涤塔(5)和脱低塔(6)，所述的吸收塔(3)顶部的出气口通过管道连接到洗涤塔(5)下部的进气口，洗涤塔(5)的底部出料口通过管道和泵连接到脱低塔(6)中部的进料口，脱低塔(6)底部的出料口通过管道和泵连接到吸收塔(3)上部的进料口。