[发明专利]光诱导防污防雾自清洁的树脂镜片及其制备方法

权利要求书

1.一种光诱导防污防雾自清洁的树脂镜片，包括有树脂镜片基片，形成于所述树脂镜片基片上的硬膜层，以及覆盖于所述硬膜层上的减反膜，其特征在于：所述的减反膜由至少五层的薄膜组成，其中最外层的薄膜为TiO_2-x-yC_xN_y薄膜，其它层薄膜为TiO_2-xC_x薄膜与SiO₂薄膜交叠设置，且贴近硬膜层的第一层为TiO_2-xC_x薄膜。

2.根据权利要求1所述的光诱导防污防雾自清洁的树脂镜片，其特征在于：所述的减反膜为五层薄膜，其总厚度为170nm-180nm。

3.根据权利要求1所述的树脂镜片的制备方法，其步骤为：

(1)加硬前树脂镜片基片预处理：将树脂镜片基片放入清洗剂中清洗，然后脱水收干；

(2)树脂镜片基片加硬处理：将树脂镜片基片放入加硬液浸渍；

(3)镀膜前树脂镜片预处理：将加硬过的树脂镜片用洗涤液进行清洗，然后烘干，再固定在镀膜机的工件架上；

(4)磁控溅射制膜：调整好镀膜机的真空系统参考，采用反应磁控溅射技术，分别溅射硅靶和钛靶并与气体反应，在基片上得到TiO_2-xC_x薄膜和SiO₂薄膜，并确保最外层的薄膜为TiO_2-xC_x；

(5)阴极磁控等离子体处理实现氮掺杂：利用等离子体发生器使氮气电离，在负偏压作用下氮离子轰击最外层薄膜而获得TiO_2-x-yC_xN_y薄膜。