[发明专利]多晶碳头料的清洗方法无效

专利信息
申请号: 200810163783.X 申请日: 2008-12-31
公开(公告)号: CN101481824A 公开(公告)日: 2009-07-15
发明(设计)人: 裘永恒 申请(专利权)人: 嘉兴嘉晶电子有限公司
主分类号: C30B33/00 分类号: C30B33/00;C30B33/10;B08B3/08;C30B29/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 314500浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 多晶 碳头料 清洗 方法
【权利要求书】:

1.一种多晶碳头料的清洗方法,其特征是包括以下步骤:

a)将多晶碳头料放入硫酸、高锰酸钾、硝酸钠的混合溶液中浸泡;

b)捞出多晶碳头料后用清水冲洗干净;

c)将多晶碳头料放入硝酸、氢氟酸的混合溶液中清洗;

d)捞出多晶碳头料用纯水冲洗干净;

e)对多晶碳头料进行纯水超声处理;

f)捞出多晶碳头料,进行烘干;

其中所述的硫酸、高锰酸钾、硝酸钠混合溶液的重量比为:硫酸20份,高锰酸 钾0.1份至0.5份,硝酸钠0.1份至0.5份;所述的硝酸、氢氟酸混合溶液的 重量比为:硝酸10份至15份,氢氟酸1份;其中所述的硫酸是浓度为98%的电 子级硫酸,所述的硝酸是浓度大于等于70%的电子级硝酸,所述的氢氟酸是浓度 大于等于49%的氢氟酸。

2.根据权利要求1所述的多晶碳头料的清洗方法,其特征是多晶碳头料在硫酸、 高锰酸钾、硝酸钠的混合溶液中浸泡12小时以上。

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