[发明专利]蚀刻液

说明书

技术领域

本发明公开了一种蚀刻液，属于蚀刻工艺技术领域。

背景技术

金属蚀刻机必须结合蚀刻液才能实现其蚀刻功能，蚀刻液包括蚀 刻母液和蚀刻子液。蚀刻时，蚀刻母液先被喷洒到金属板上进行蚀刻， 当蚀刻母液中的氧化剂含量低至一定值时，蚀刻子液将通过自动添加 系统被加入到蚀刻母液中，以提高蚀刻母液的氧化剂含量，使蚀刻母 液继续有效的工作，而不需要经常更换溶液。而现有的蚀刻液，由于 蚀刻速度慢，存在蚀刻精度不高，蚀刻效率低，且侧蚀严重的问题。

发明内容

为了解决上述问题，本发明提供了一种蚀刻速度快的蚀刻液。

为了实现上述目的，本发明所采用的技术方案为：一种蚀刻液， 包括蚀刻母液、蚀刻子液，所述蚀刻母液由以下重量百分比的组分配 制而成，三氯化铁40-60％，氯化铜2-4％，盐酸2-8％，余量为水；蚀 刻子液由以下重量百分比的组分配制而成，氯酸钠20～30％，氯化铵 10～15％，氯化铜2～4％，余量为水。

所述每100kg的蚀刻母液内，每小时最多可添加0.34kg的蚀刻子 液。

采用上述方案后，本发明在蚀刻母液的原酸蚀刻和Fe³⁺氧化蚀刻 的基础上，加入了Cu²⁺，其中Cu→Fe形成原电池反应，从而增加了 蚀刻的速度，提高了蚀刻效率及精度，并降低了侧蚀影响；本发明蚀 刻子液可保证蚀刻母液中三价铁离子浓度的稳定，使蚀刻母液保持活 性，保证持续生产，在生产过程中不用经常更换溶液，既保证生产效 率，又降低生产成本和材料消耗，在这其中Cl⁷⁺的氧化起到了重要的 作用。

具体实施方式

下面通过具体实施例对本发明作进一步说明，但本发明并不受以 下实施例所限定。

实施例1

一种蚀刻液，包括蚀刻母液、蚀刻子液。其中，蚀刻母液由以下 重量百分比的组分配制而成，三氯化铁40％，氯化铜4％，盐酸8％， 余量为水；蚀刻子液由以下重量百分比的组分配制而成，氯酸钠30％， 氯化铵10％，氯化铜2％，余量为水。

蚀刻母液配制时，先将盐酸和水进行调和，然后将三氯化铁固体 放入混合均匀，之后将氯化铜放入，调匀即可。

蚀刻子液配制时，将氯酸钠、氯化铵、氯化铜和水一起调匀即可。

在生产过程中，每100kg的蚀刻母液内，每小时最多可添加0.34kg 的蚀刻子液，当需要蚀刻的面积很小且时间很短的情况下，蚀刻子液 可视情况而选择不添加。

实施例2

一种蚀刻液，包括蚀刻母液、蚀刻子液。其中，蚀刻母液由以下 重量百分比的组分配制而成，三氯化铁45％，氯化铜3.5％，盐酸7％， 余量为水；蚀刻子液由以下重量百分比的组分配制而成，氯酸钠28％， 氯化铵11％，氯化铜2.5％，余量为水。

蚀刻母液配制时，先将盐酸和水进行调和，然后将三氯化铁固体 放入混合均匀，之后将氯化铜放入，调匀即可。

蚀刻子液配制时，将氯酸钠、氯化铵、氯化铜和水一起调匀即可。

在生产过程中，每100kg的蚀刻母液内，每小时最多可添加0.34kg 的蚀刻子液，当需要蚀刻的面积很小且时间很短的情况下，蚀刻子液 可视情况而选择不添加。

实施例3

一种蚀刻液，包括蚀刻母液、蚀刻子液。其中，蚀刻母液由以下 重量百分比的组分配制而成，三氯化铁50％，氯化铜3％，盐酸5％， 余量为水；蚀刻子液由以下重量百分比的组分配制而成，氯酸钠25％， 氯化铵12.5％，氯化铜3％，余量为水。

蚀刻母液配制时，先将盐酸和水进行调和，然后将三氯化铁固体 放入混合均匀，之后将氯化铜放入，调匀即可。

蚀刻子液配制时，将氯酸钠、氯化铵、氯化铜和水一起调匀即可。

在生产过程中，每100kg的蚀刻母液内，每小时最多可添加0.34kg 的蚀刻子液，当需要蚀刻的面积很小且时间很短的情况下，蚀刻子液 可视情况而选择不添加。

实施例4

一种蚀刻液，包括蚀刻母液、蚀刻子液。其中，蚀刻母液由以下 重量百分比的组分配制而成，三氯化铁55％，氯化铜2.5％，盐酸3％， 余量为水；蚀刻子液由以下重量百分比的组分配制而成，氯酸钠22％， 氯化铵14％，氯化铜3.5％，余量为水。

蚀刻母液配制时，先将盐酸和水进行调和，然后将三氯化铁固体 放入混合均匀，之后将氯化铜放入，调匀即可。