[发明专利]用于光刻机的浸没液体供给及回收控制装置

权利要求书

1.一种用于光刻机的浸没液体供给及回收控制装置，是在投影透镜组(1)和衬底(3)之间设置的液体供给及回收控制装置(2)；其特征在于：所述的液体供给及回收控制装置(2)包括注液盖(2A)、注液盘(2B)、流动控制环(2C)和挡圈(2D)；其中：

1)注液盖(2A)：由中心向外开有偏置的回收腔对外连接通道(6B)、两个对称分布的注液腔对外连接通道(6A)；

2)注液盘(2B)：由中心向外开偏置的物镜孔(4D)、偏置的回收腔(4C)和沿圆周方向均匀排列成环形的四个注液腔(4A)，四个注液腔(4A)向上与注液腔对外连接通道(6A)相通；回收腔(4C)向上与回收腔对外连接通道(6B)相通；注液孔阵列(4B)沿注液腔(4A)所在的圆周方向垂直向上排列；

3)流动控制环(2C)：在环状圆周面上开有柱状斜流槽阵列(5)，向上分别与注液孔阵列(4B)相通；

4)挡圈(2D)：环状结构，内径和外径与流动控制环(2C)相同；

所述的注液盘(2B)、流动控制环(2C)、挡圈(2D)，三部分构件之间为平面结合；

注液过程中，外部注液管路中的液体依次流经：注液腔对外连接通道(6A)、注液腔(4A)、注液孔阵列(4B)和斜流槽阵列(5)，并以斜流槽阵列(5)的指向为初速度方向，以射流形式进入缝隙流场(7)，最终在负压的作用下进入回收腔(4C)实施回收，液体以定量方式沿斜流槽阵列(5)高速射入缝隙流场(7)，通过协调控制注液腔(4A)流量和回收腔(4C)的负压值，达到注液及回收二者的平衡。

2.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的浸没液体供给及回收控制装置，其特征在于：所述的回收腔(4C)的直径为3/16～5/16倍注液盘(2B)的直径。

3.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的浸没液体供给及回收控制装置，其特征在于：所述的注液孔阵列(4B)和斜流槽阵列(5)沿圆周方向离回收腔(4C)中心距离越大，分布密度减小。