[发明专利]电子束曝光系统

权利要求书

1.一种用于接收多个小射束的聚焦电子光学系统，包括：

用于聚焦多个小射束中的每一个的第一静电透镜阵列；

包括用于调制所述小射束的强度的多个调制器的调制阵列；

包括用于在一个方向上偏转一部分所述小射束的多个静电扫描偏 转器的扫描偏转阵列；和

用于聚焦偏转后的小射束的第二静电透镜阵列。

2.如权利要求1的系统，其中所述系统包括用于将电子束分离为 多个小射束的射束分离器。

3.如权利要求2的系统，其中所述射束分离器包括孔阵列，所述 孔阵列具有直径在5μm到150μm的范围内、并且间距为50到500μm 的孔。

4.如权利要求2的系统，其中所述射束分离器包括具有5000到 30000个孔的孔阵列。

5.如权利要求2的系统，其中所述射束分离器包括具有尺寸被调 节以补偿所述电子束的不均匀电流密度的孔的孔阵列。

6.如权利要求5的系统，其中每个孔具有与基于要通过所述孔传 输的相应小射束的电流密度成反比的面积。

7.如权利要求2的系统，其中所述射束分离器包括沿着所述电子 束或多个小射束的路径连续顺序布置的多个孔阵列，所述孔阵列具有 互相对齐的孔，沿所述路径朝向第一静电透镜阵列的每下一个孔阵列 都具有小于前一孔阵列中的孔的孔。

8.如权利要求2的系统，其中所述射束分离器包括具有布置为六 边形图案的孔的孔阵列。

9.如权利要求1的系统，其中所述第一静电透镜阵列被布置为将 所述多个小射束中各个小射束聚焦到从0.1到1μm的范围内的直径。

10.如权利要求9的系统，其中所述第一静电透镜阵列包括两个带 有洞的对准板。

11.如权利要求10的系统，其中所述板的厚度在从10到500μm 的范围内。

12.如权利要求10的系统，其中所述洞具有从50到200μm的范 围内的直径，以及从50到500μm的范围内的间距。

13.如权利要求10的系统，其中所述第一静电透镜阵列还包括用 于支撑所述板的绝缘体。

14.如权利要求1的系统，其中所述调制阵列包括：

配备有所述调制器的小射束消隐器孔阵列，所述调制器是用于在 另一预定方向上偏转小射束的消隐静电偏转器，其中所述消隐静电偏 转器包括多个电极；

小射束停止阵列，用于终止由所述小射束消隐器阵列的消隐静电 偏转器所偏转的小射束。

15.如权利要求14的系统，其中第一静电透镜阵列被布置为将所 述多个小射束中各个小射束在所述小射束消隐器阵列处聚焦为从0.1 到5μm的范围内的直径。

16.如权利要求15的系统，其中所述小射束消隐器阵列位于所述 多个小射束的静电焦平面中。

17.如权利要求16的系统，其中所述小射束停止阵列被定位在所 述多个小射束的焦平面之外。

18.如权利要求14的系统，其中每个消隐静电偏转器包括接地的 第一电极和连接到用于接收控制数据的电路的第二电极。

19.如权利要求1的系统，其中所述第二静电透镜阵列包括两个或 多个板，其中每个板具有在从10到500μm的范围内的厚度。

20.如权利要求1的系统，其中所述第二静电透镜阵列包括两个或 多个板，其中相邻板之间的距离在从50到800μm的范围内。

21.如权利要求1的系统，用于在将图案转移到目标表面上的、 使用电子束的平版印刷系统中的用途。

22.如权利要求21的系统，包括：

用于产生电子束的电子束发生器；和

目标固定器，用于固定配备有用于接收要转移的图案的表面的目 标。