[发明专利]抽样检验方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种抽样方法，且特别是涉及一种抽样检验方法。

背景技术

一半导体工艺生产线上具有许多工艺步骤，例如薄膜形成步骤、微影工艺步骤等，此外，还具有许多检验步骤以检验特定一些工艺步骤的结果。

在一检验步骤中，经由检验一成品或是半成品的物理性质来判断是否有缺陷存在，进而推论于此产品所进行之前步骤中的各种机台状态是否正常。目前生产线上所执行的检验程序大部分为抽样检验。也就是对于相对应于各种不同工艺步骤的各种机台类型设定不同的被抽样检验比率，而在此抽样检验比率控制下，随机抽样产品批次进行检验步骤。在生产线上进行同一工艺步骤的工艺机台数量少的情况下，此依照抽样比率进行产品批次的抽样检验方式，可以达到短时间内，执行各个工艺步骤的每个机台的工艺结果都有差不多的机会被抽样检验到。然而，当生产线扩大，工艺机台数量扩增时，这种以抽样检验比率来随机选取产品批次进行检验步骤，将产生部分机台的工艺步骤结果久久才被检验一次的盲点。

如此一来，当工艺机台产生工艺问题，而致使同一产品批次中的产品产生缺陷，而恰好此工艺机台的工艺结果并未被抽样检验时，将导致产品良率下降，并且降低检验步骤的可信度。然而，在具有众多工艺机台的生产线上要逐一完成工艺结果的检验，达到百分之百的检验结果，又会提高检验程序的复杂度以及拉长执行检验步骤所需的时间。

发明内容

本发明的目的就是在提供一种抽样检验方法，在一预设检验周期内，可使每一设备都进行抽样检验至少一次，提高抽样检验的可信度。

本发明的另一目的是提供一种抽样检验方法，可以降低抽样检验的时间，以提高产能。

本发明提出一种抽样检验方法，适用于具有多个设备的一多种产品生产线，包括：提供一设备记录(tool record)，其中该设备记录储存每一所述设备的一抽样数据。之后，检视该设备记录中的每一抽样数据，以于所述设备中找出至少一未抽样设备。接着，确认经由至少所述未抽样设备其中之一所执行至少一工艺操作的多个产品批次。最后，决定至少所述产品批次其中之一，以进行一抽样检验。

依照本发明的实施例所述的抽样检验方法，其中每一抽样数据分别记录相对应的该设备的一最新检验时间。

依照本发明的实施例所述的抽样检验方法，其中进行该抽样检验的该产品批次的一工艺设备路径包含至少两个未抽样设备。

依照本发明的实施例所述的抽样检验方法，其中决定至少所述产品批次其中之一，以进行该抽样检验的步骤还包括根据一优先选择规则，以决定进行该抽样检验的该产品批次为一优先抽样产品批次。上述优先选择规则包括：该优先抽样产品批次所相对应的一产品具有一最高产品生产量。另外，该优先选择规则包括：该优先抽样产品批次具有一现成检验程序。再者，该优先选择规则包括：该优先抽样产品批次的一工艺设备路径包含最多所述未抽样设备。

依照本发明的实施例所述的抽样检验方法，其中该设备记录中，根据每一所述设备所执行的一工艺型态以分群所述设备成多个设备群组，且每一所述设备群组分别具有一预设检验周期。其中于所述设备中找出至少一该未抽样设备的步骤还包括：于每一所述设备群组相对应的该预设检验周期内，在每一所述设备群组中找出至少所述设备其中之一为该未抽样设备，且该未抽样设备的相对应该抽样数据标示为未抽样。

依照本发明的实施例所述的抽样检验方法，其中该设备包括一工艺机台。

依照本发明的实施例所述的抽样检验方法，其中该设备包括一工艺腔体。

本发明还提出一种抽样检验方法，适用于具有多个设备的一多种产品生产线，包括：提供一设备记录，其中该设备记录储存每一所述设备的一抽样数据。之后，于一预设检验周期，检视该设备记录中的每一抽样数据，以于所述设备中找出至少一未抽样设备。再者，设定一工艺设备路径，其中该工艺设备路径包括至少两个未抽样设备。继之，根据该工艺设备路径，预定一产品批次。续之，使该产品批次依照该工艺设备路径完成一产品制造程序。最后，以进行一抽样检验，以检验该产品批次。

依照本发明的实施例所述的抽样检验方法，其中每一抽样数据分别记录相对应的该设备的一最新检验时间。

依照本发明的实施例所述的抽样检验方法，其中该设备记录中，根据每一所述设备所执行的一工艺型态以分群所述设备成多个设备群组，且每一所述设备群组分别具有一预设检验周期。又，其中于所述设备中找出至少一该未抽样设备的步骤还包括：于每一所述设备群组相对应的该预设检验周期内，在每一所述设备群组中找出至少所述设备其中之一为该未抽样设备，且该未抽样设备的相对应该抽样数据标示为未抽样。