[发明专利]激光加工机

说明书

技术领域

本发明涉及在工作台表面具备与内部的空间部连通的孔，通过将上述 空间部连接于负压源，而将工件吸附于工作台表面的激光加工机。

背景技术

一般地，在印刷基板(以下，称为“工件”)上加工孔的激光加工机， 通过将工件吸附于工作台上来进行固定的。由于这些被激光钻孔加工的工 件大小各式各样，因此以往提出有，例如将工作台主体的内部用隔开部件 隔开，并能够配合工件来改变吸附区域的激光加工机(参照专利文献1)。 于是，不仅能够可靠地将工件吸附于工作台，而且真空源能够有效地动作。

另外，还存在这样的激光加工机，即，在一台激光机上设置多个激光 照射部，并且预先在工作台上配置多个工件，并几乎同时加工多个工件， 从而提高加工效率的激光加工机(参照专利文献2)。

专利文献1：日本专利特开2000-334593号公报。

专利文献2：日本专利特开2000-263271号公报

在使用上述的真空源固定工件的激光加工机的情况下，为了将工件从 工作台上取下，而需要将工作台内部空间部的压力(负压)设为接近大气 压的值，然而上述文献1及2记载的激光加工机是设置电磁阀，并通过使 该电磁阀动作而将工作台内部的空间部与大气连接，从而将工件从工作台 上取下。

上述电磁阀，通过使工作台内部的空间部与大气进行断开、连接，从 而能够将工件固定于工作台，或者从工作台上取下，其配设于离开工作台 的位置，并通过软管与工作台内部的空间部连接。该软管，针对每个电磁 阀至少需要一根，因而在工作台移动及停止时会产生振动。

因此，即使工作台在加工位置停止，软管的振动也不会立即结束，当 在该振动结束之前开始加工时，则软管的振动传到工作台会使加工精度降 低。另一方面，如果待机到软管的振动结束为止，则会降低加工效率。

特别是软管的口径较大时，由于其刚性及质量较大，因此传给工作台 的振动也变大，对加工精度的影响也变大。另外，到其结束为止的时间也 变长，因而加工效率也降低。

发明内容

因此，本发明的目的在于，提供一种可提高加工效率及加工精度的激 光加工机。

技术方案1涉及的发明是一种激光加工机，在载置工件的工作台(2) 表面，具备与内部的空间部(2A、2B)连通的孔(2b)，通过将上述空间 部(2A、2B)与负压源(1)连接，而将工件吸附于上述工作台(2)表面， 其特征在于，

设置将上述空间部(2A、2B)与大气或者上述负压源(1)连接的压 力切换装置(6)，并将该压力切换装置(6)配置于上述工作台(2)。

技术方案2涉及的发明，在技术方案1所述的激光加工机的基础上， 上述压力切换装置(6)，构成为具有：与上述负压源(1)连接的负压室(R1)； 压力切换室(R3、R4)，其与上述工作台(2)的内部的空间部(2A、2B) 连通，并且与上述负压室(R1)及大气连接；闸门部件(25a、25b)，其 使上述压力切换室(R3、R4)选择性地与上述负压室(R1)或者大气中 的一方连接；驱动上述闸门部件(25a、25b)的闸门部件驱动单元(7a、 7b)；控制上述闸门部件(25a、25b)的驱动的闸门部件控制单元(6a)。

技术方案3涉及的发明，在技术方案2所述的激光加工机的基础上， 上述压力切换室(R3、R4)，内藏上述闸门部件(25a、25b)，并且具有： 与上述负压室(R1)连接的第一贯穿孔(30a、30c)，和与上述大气连接 的第二贯穿孔(31a、31c)，

将上述闸门部件(25a、25b)构成为，在开位置和闭位置自由地切换， 其中开位置为，使上述第一贯穿孔(30a、30c)开放，并且关闭上述第二 贯穿孔(31a、31c)的位置；闭位置为，关闭上述第一贯穿孔(30a、30c)， 并且使上述第二贯穿孔(31a、31c)开放的位置。

技术方案4涉及的发明，在技术方案2或3所述的激光加工机的基础 上，上述激光加工机具有上述工作台(2)内部的多个空间部(2A、2B)， 并且上述压力切换装置(6)，构成为具有：一个上述负压室(R1)；和与 这些工作台(2)内部的多个空间部(2A、2B)相对应的数量的上述压力 切换室(R3、R4)及上述闸门部件(25a、25b)。