[发明专利]抗振型干涉扫描系统及其方法

权利要求书

1.一种抗振型干涉扫描系统，其特征在于，包括：

一光源模块；

一光学模块，其是接收该光源模块所产生的光场以分别形成对应于一待测物的表面形貌的一高同调性干涉图案与一低同调性干涉图案；以及

一控制单元，其是锁定该高同调性干涉图案的亮暗分布，进而锁定该低同调性干涉图案的条纹分布；或该控制单元是先进行具有一特定行程的快速扫描动作，再根据该特定行程、形成该高同调性干涉图案的光场的光波波长与扫描动作开始前的该高同调性干涉图案的亮暗分布，锁定扫描动作完成后的该高同调性干涉图案的亮暗分布，进而锁定扫描动作完成后的该低同调性干涉图案的条纹分布。

2.如权利要求1所述的抗振型干涉扫描系统，其特征在于，该控制单元是控制该待测物的位置。

3.如权利要求2所述的抗振型干涉扫描系统，其特征在于，该控制单元是通过一位移控制单元控制该待测物的位置。

4.如权利要求1所述的抗振型干涉扫描系统，其特征在于，该光学模块更包含一物镜。

5.如权利要求4所述的抗振型干涉扫描系统，其特征在于，该控制单元是控制该物镜的位置。

6.如权利要求5所述的抗振型干涉扫描系统，其特征在于，该控制单元是通过一位移控制单元控制该物镜的位置。

7.如权利要求1所述的抗振型干涉扫描系统，其特征在于，该光学模块更包含一影像撷取元件。

8.如权利要求1所述的抗振型干涉扫描系统，其特征在于，该光学模块更包含二影像撷取元件。

9.一种抗振型干涉扫描方法，其特征在于，包括下列步骤：

撷取分别对应于一待测物的表面形貌的一高同调性干涉图案与一低同调性干涉图案；以及

锁定该高同调性干涉图案的亮暗分布，进而锁定该低同调性干涉图案的条纹分布。

10.如权利要求9所述的抗振型干涉扫描方法，其特征在于，该锁定该高同调性干涉图案的亮暗分布的方式是根据该高同调性干涉图案上的特定两点所具有的灰度值的比值而定。

11.如权利要求9所述的抗振型干涉扫描方法，其特征在于，该锁定该高同调性干涉图案的亮暗分布的方式是根据该高同调性干涉图案上的连续排列的三点以上的灰度值的局部极值的位置而定。

12.一种抗振型干涉扫描方法，其特征在于，包括下列步骤：

撷取分别对应于一待测物的表面形貌的一高同调性干涉图案与一低同调性干涉图案；

进行具有一特定行程的快速扫描动作；以及

根据该特定行程、形成该高同调性干涉图案的光场的光波波长与扫描动作开始前的该高同调性干涉图案的亮暗分布，锁定扫描动作完成后的该高同调性干涉图案的亮暗分布，进而锁定扫描动作完成后的该低同调性干涉图案的条纹分布。

13.如权利要求12所述的抗振型干涉扫描方法，其特征在于，进行特定行程扫描动作前后的该高同调性干涉图案的亮暗分布不变。

14.如权利要求13所述的抗振型干涉扫描方法，其特征在于，该特定行程是为形成该高同调性干涉图案的光场的光波波长的一半。

15.如权利要求12所述的抗振型干涉扫描方法，其特征在于，进行特定行程扫描动作前后的该高同调性干涉图案的亮暗分布颠倒。

16.如权利要求15所述的抗振型干涉扫描方法，其特征在于，该特定行程是为形成该高同调性干涉图案的光场的光波波长的四分之一。

17.如权利要求12所述的抗振型干涉扫描方法，其特征在于，该锁定扫描动作完成后的该高同调性干涉图案的亮暗分布的方式是根据该高同调性干涉图案上的特定两点所具有的灰度值的比值而定。

18.如权利要求12所述的抗振型干涉扫描方法，其特征在于，该锁定扫描动作完成后的该高同调性干涉图案的亮暗分布的方式是根据该高同调性干涉图案上的连续排列的三点以上的灰度值的局部极值的位置而定。