[发明专利]破片分析装置

说明书

技术领域

本发明涉及玻璃基板破片的分析装置，尤其涉及一种可以快速回收破片的破片分析装置。

背景技术

在玻璃基板的制造过程中，工艺产生不良应力或材料缺陷，玻璃基板可能产生破裂的情形。玻璃基板于机台破裂形成的破片，加以收集后拼图，拼接的裂痕可用于分析玻璃基板破裂原因，以判断基板工艺或是材料需要修改。

目前进行破片分析的方法，为先收集玻璃基板破裂之后的破片，并搬运至一空旷处。再将破裂的基板拼接成完整的基板，以检视玻璃基板的破裂情形。破片分析完成之后，再一一将破片丢弃至一报废盒内。破片搬运时，需由人员手动搬运，易造成碎片散落而造成污染，也容易造成破片报废时人力的浪费。

因此，如何分析破片，并于分析完成后安全地收集并废弃破片，为此领域所需迫切面临的课题。

发明内容

有鉴于此，本发明所要解决的技术问题在于提出一种破片分析装置，可于分析破片之后安全且快速地收集破片。

为了实现上述目的，本发明提供一种破片分析装置，包含一基座、一分析台、及至少一导引装置。基座内部具有一容置空间，且基座的顶部具有一开口连通容置空间。分析台设置于基座上，具有平台部且平台部用以承载破片。导引装置连接基座与分析台，其中导引装置具有第一导引方向及第二导引方向，且导引装置导引分析台沿第一导引方向或沿第二导引方向位移，使分析台位于容置空间内或者位于开口上方。

本发明通过具有平台部的分析台承载破片，且可于破片分析完成之后，通过导引装置导引分析台移动以收集至容置空间内，避免破片污染环境。同时，导引装置连接分析台及基座，且分析台也可以进一步移动至容置空间中，避免分析台自基座脱落，也确保容置空间在移动过程中被分析台密封，降低因基座倾倒导致破片散落的危机。

有关本发明的较佳实施例及其功效，兹配合附图说明如后。

附图说明

图1A、1B、、1C、与图1D为本发明第一实施例的立体图；

图2为图1C的局部放大图；

图3A、3B、3C、与图3D为本发明第一实施例的剖面示意图；

图4A、4B、4C、与图4D为本发明第二实施例的立体图；

图5为本发明第三实施例的剖面示意图；

图6为本发明第四实施例的剖面示意图。

其中，附图标记：

10：基座                        12：容置空间

14：开口                        16：窗口

20：分析台                      22：平台部

221：坐标网格线                 24：盖板部

26：侧板部                      261：定位标记

28：扣锁件                      30：导引装置

32：第一导轨                    34：第二导轨

36：枢接元件                    361：连接件

363：枢轴                       40：第一轮组件

50：收集箱                      52：收集口

54：第二轮组件                  60：门组件

70：连杆组                      72：第一连杆

73：第二连杆                    74：伸缩杆

具体实施方式

请参照图1A、图1B、图1C、及图1D，为本发明第一实施例所揭露的一种破片分析装置，破片分析装置包含一基座10、一分析台20、及二导引装置30。破片分析装置用以分析破裂基板的破片，并于分析完成后快速搜集破片以废弃，前述的破裂基板可为玻璃基板、面板或晶圆等。