[发明专利]半导体装置的制造方法

权利要求书

1.一种显示模块的制造方法，包括：

在衬底上形成剥离层；

在所述剥离层上形成包括像素部分的元件形成层，其中所述像素 部分包括薄膜晶体管；

产生剥离以使所述元件形成层与所述衬底分离；

将液体供应到产生剥离的部分；

在供应步骤之后，从所述衬底分离所述元件形成层，其中分离在 液体普及到剥离的先端部分时进行；

在分离步骤之后，将第一挠性衬底固定到所述元件形成层上；以 及

用密封剂将第二挠性衬底固定到所述第一挠性衬底上，且所述元 件形成层夹在两者之间。

2.如权利要求1所述的显示模块的制造方法，其中所述液体是纯 水。

3.如权利要求1所述的显示模块的制造方法，其中通过使用热塑 性树脂将所述第一挠性衬底固定到所述元件形成层上。

4.如权利要求1所述的显示模块的制造方法，其中所述显示模块 是液晶模块。

5.如权利要求1所述的显示模块的制造方法，其中所述显示模块 是EL模块。

6.如权利要求1所述的显示模块的制造方法，其中所述液体由于 毛细管现象而散开。

7.一种显示模块的制造方法，包括：

在衬底上形成剥离层；

在所述剥离层上形成包括像素部分的元件形成层，其中所述像素 部分包括薄膜晶体管；

在所述剥离层内产生剥离；

将液体供应到产生剥离的部分；

在供应步骤之后，在所述剥离层内从所述衬底分离所述元件形成 层，其中分离在液体普及到剥离的先端部分时进行；

在分离步骤之后，将第一挠性衬底固定到所述元件形成层上；以 及

用密封剂将第二挠性衬底固定到所述第一挠性衬底上，且所述元 件形成层夹在两者之间。

8.如权利要求7所述的显示模块的制造方法，其中所述液体是纯 水。

9.如权利要求7所述的显示模块的制造方法，其中通过使用热塑 性树脂将所述第一挠性衬底固定到所述元件形成层上。

10.如权利要求7所述的显示模块的制造方法，其中所述显示模 块是液晶模块。

11.如权利要求7所述的显示模块的制造方法，其中所述显示模 块是EL模块。

12.如权利要求7所述的显示模块的制造方法，其中所述液体由 于毛细管现象而散开。

13.一种显示模块的制造方法，包括：

在衬底上形成剥离层；

在所述剥离层上形成包括像素部分的元件形成层，其中所述像素 部分包括薄膜晶体管；

在所述剥离层和所述元件形成层之间，从所述衬底分离所述元件 形成层，或者在所述剥离层和所述衬底之间，从所述衬底分离所述元 件形成层和所述剥离层，同时用液体濡湿因分离而露出的表面；

在分离步骤之后，将第一挠性衬底固定到所述元件形成层上；以 及

用密封剂将第二挠性衬底固定到所述第一挠性衬底上，且所述元 件形成层夹在两者之间。

14.如权利要求13所述的显示模块的制造方法，其中所述液体是 纯水。

15.如权利要求13所述的显示模块的制造方法，其中通过使用热 塑性树脂将所述第一挠性衬底固定到所述元件形成层上。

16.如权利要求13所述的显示模块的制造方法，其中所述显示模 块是液晶模块。

17.如权利要求13所述的显示模块的制造方法，其中所述显示模 块是EL模块。

18.如权利要求13所述的显示模块的制造方法，其中所述液体由 于毛细管现象而散开。