[发明专利]具有优化的运动电容的压电生成器

权利要求书

1.一种压电音叉谐振器(1)，包括基体(4)，平行的第一和第二振动臂(2、 3)从该基体(4)延伸出去，每个振动臂通过形成每个臂的自由端的鳍(9、10) 形状中的放大部分延伸，每个所述振动臂承载一组用于以基本频率振动所述臂 的激励电极(5、6)，该组激励电极(5、6)包括在所述臂的主体相对表面上的 中心电极和沿所述臂侧面的侧电极，所述压电音叉谐振器(1)还包括形成在每 个所述臂的顶部表面或底部表面的至少一个上的至少一个凹槽(7、8)，所述凹 槽(7、8)在朝臂的自由端的方向延伸超过鳍(9、10)的开始端，其特征在于， 所述振动臂具有通常的楔状，并且所述中心电极不延伸到鳍(9、10)的开始端， 而是在鳍(9、10)的开始端之前停止。

2.根据权利要求1的压电音叉谐振器，其特征在于，形成在每个所述臂(2、 3)上的所述凹槽(7、8)的开始点在基体(4)内，而且在臂锚定区域之前。

3.根据权利要求1的压电音叉谐振器，其特征在于，凹槽(7、8)延伸超 过鳍开始端的距离在臂(2、3)的平均宽度的一或两倍之间。

4.根据权利要求1的压电音叉谐振器，其特征在于，凹槽(7、8)延伸超 过鳍的开始端的距离至少是凹槽深度的3倍。

5.根据权利要求1的压电音叉谐振器，其特征在于，凹槽(7、8)的末端 接近鳍(9、10)的开始端甚于接近鳍的末端。

6.根据权利要求1的压电音叉谐振器，其特征在于，所述凹槽的深度小于 振动臂厚度的40％，以便获得谐振器尺寸和谐振器对机械应力的抵抗力之间的 良好折中。

7.根据权利要求1的压电音叉谐振器，其特征在于，所述凹槽(7、8)的 深度小于振动臂(2、3)的厚度的30％，以便获得谐振器尺寸和谐振器对机械 应力的抵抗力之间的优化折中。

8.根据权利要求1的压电音叉谐振器，其特征在于，所述凹槽(7、8)具 有矩形形状，以便减少电极之间的空间并进一步增加第一运动电容。

9.根据权利要求1的压电音叉谐振器，其特征在于，所述凹槽(7、8)具 有楔状以便防止电极之间的短路。