[发明专利]使用照相机用于机械手校准的方法和系统

权利要求书

1、一种重新校准机械手的方法，包括：

人工校准与目标对准的机械手叶片的中心；

记录与照相机站对准的机械手叶片的中心的第一位置值；

自动确定与照相机站对准的机械手叶片的中心的第二位置值；以及

根据第二位置值和第一位置值之间的偏移量超过第一位置值的容许偏 移量来自动重新校准机械手叶片。

2、如权利要求1的方法，进一步包括：

自动确定与照相机站对准的机械手叶片的中心的第三位置值；以及

根据第三位置值和第一位置值之间的偏移量超过第一位置值的容许偏 移量来自动重新校准机械手叶片。

3、如权利要求1的方法，其中目标是被定位在处理室中的静电晶片 卡盘。

4、如权利要求3的方法，其中在机械手叶片的重新校准过程中封闭 处理室的盖子。

5、如权利要求2的方法，其中在机械手叶片的重新校准过程中封闭 处理室的盖子。

6、如权利要求1的方法，其中自动确定机械手叶片的中心的第二位 置值进一步包括：

训练机械手，以便对准机械手叶片的中心与照相机站。

7、如权利要求6的方法，其中自动确定机械手叶片的中心的第二位 置值进一步包括：

捕获与照相机站对准的机械手叶片的中心的图像；以及

发送该图像至处理单元，以便自动确定机械手叶片的中心的第二位置 值。

8、一种制造机器，包括：

多个处理室；

具有机械手的转移室，该机械手用于在转移室和处理室之间转移器 件；以及

处理单元，用于控制机械手的操作，其中相对于具有处于打开位置的 盖子的处理室人工校准机械手，并且然后接着相对于具有处于关闭位置的 盖子的处理室自动重新校准机械手。

9、如权利要求8的机器，其中处理单元记录与照相机站对准的机械 手叶片的中心的第一位置值。

10、如权利要求9的机器，其中通过根据第二位置值和第一位置值之 间的偏移量超过第一位置值的容许偏移量来自动确定关于照相机站对准的 机械手叶片的中心的第二位置值，处理单元自动重新校准机械手。

11、如权利要求10的机器，其中通过根据第三位置值和第一位置值 之间的偏移量超过第一位置值的容许偏移量来记录与照相机站对准的机械 手叶片的中心的第三位置值，处理单元接着自动重新校准机械手。

12、如权利要求8的机器，其中目标是定位在处理室中的静电晶片卡 盘。

13、如权利要求11的机器，其中照相机站被耦合至转移室，转移室 内部的视图用于记录转移室中机械手的第一、第二和第三位置值。

14、如权利要求11的机器，进一步包括耦合至转移室的装载站，机 械手能够在装载站和转移室之间转移晶片，其中照相机站被耦合至装载 站，装载站内部的视图用于记录装载站中机械手的第一、第二和第三位置 值。

15、如权利要求11的机器，进一步包括转移室和处理室之间的室端 口，其中照相机站被耦合至室端口，室端口内部的视图用于记录室端口中 机械手的第一、第二和第三位置值。