[发明专利]一种处理硅晶板切割废弃物的方法及装置

权利要求书

1.一种处理硅晶板切割废弃物的方法，包含：

A：固液分离步骤，将废弃物中的固体与液体进行分离，以分离出固 体废弃物与液体废弃物；

B：废水分离步骤，接续A，以薄膜蒸发方式将液体废弃物的中之废 水分离出来；

C：聚乙二醇回收步骤，接续前述B，将分离出废水的液体废弃物，再 以薄膜蒸发方式分离出聚乙二醇；以及

D：废油回收步骤，接续前述C，将分离出聚乙二醇的液体废弃物， 以分子蒸馏方式析出废油加以回收，残余之废油渣则排出流程，等待焚化。

2.如权利要求1所述之处理硅晶板切割废弃物的方法，在前述A中， 分离出的固体废弃物进入一固体废弃物处理步骤，通过干燥、浮选、及选 别技术，将所有固体废弃物包含碳化硅、硅粉、杂质物质进行完整的分离， 以便再进行加工再利用，或以固形化技术进行固化。

3.如权利要求1所述之处理硅晶板切割废弃物的方法，在前述D中， 所回收的废油回收再出售，残余的废油渣再加以焚化。

4.如权利要求1所述之处理硅晶板切割废弃物的方法，在前述A中， 此固液分离步骤包含重力式与旋流式固液分离，以及碟盘式离心分离。

5.一种处理硅晶板切割废弃物的装置，包含：

一固液分离单元，将废弃物中的液体废弃物与固体废弃物进行分离；

一个第一薄膜蒸发单元，将固液分离单元中所分离出的液体废弃物， 经过薄膜蒸发器将废水分离出来；

一个第二薄膜蒸发单元，将由第一薄膜蒸发单元中已分离出废水的液 体废弃物，经过薄膜蒸发器分离出聚乙二醇；以及

一分子蒸馏单元，将由第二薄膜蒸发单元中已分离出聚乙二醇的液体 废弃物，经过分子蒸馏器析出废油。

6.如权利要求5所述之处理硅晶板切割废弃物的装置，其中该固液分 离单元包含一重力式固液分离机、一旋流式固液分离机、一碟盘式离心分 离机、二只调合槽及数个泵浦。

7.如权利要求5所述之处理硅晶板切割废弃物的装置，其中该第一薄 膜蒸发单元包含一原料槽、一调合槽、一预热器、一薄膜蒸发器、一冷凝 器、二只物料暂存槽、一废水储槽、一导热油炉、一导热油膨胀槽及数个 泵浦。

8.如权利要求5所述之处理硅晶板切割废弃物的装置，其中该第二薄 膜蒸发单元包含一预热器、一薄膜蒸发器、一冷凝器、二只物料暂存槽、 一聚乙二醇储槽、一导热油炉、一导热油膨胀槽、一组真空泵及数个泵浦。

9.如权利要求5所述之处理硅晶板切割废弃物的装置，其中该分子蒸 馏单元包含一预热器、一刮板式分子蒸馏器、一冷井、二只物料暂存槽、 一真空缓冲槽、一气液分离器、一导热油炉、一导热油膨胀槽、一回收油 槽、一废油渣储槽、一组真空泵及数个泵浦。

10.如权利要求5所述之处理硅晶板切割废弃物的装置，更包含一冷 却单元，该冷却单元包含一冷却水循环单元与一冰水机组，用以对各个不 同之步骤单元提供冷却循环水以及冰水，以便从步骤中冷凝及回收物料进 行热交换。

11.如权利要求10所述之处理硅晶板切割废弃物的装置，其中该冷却 水循环单元包含一冷却水塔与数个冷却水循环泵。