[发明专利]喷出方法、连续膜形成方法以及取向膜形成方法

权利要求书

1.一种喷出方法，其为由多个喷嘴组向工件喷出液状体的喷出方法， 其特征在于，

构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，

该喷出方法具有：

分布运算工序，其测定所述喷嘴的喷出量，对所述喷出量的分布进行 运算；

分类工序，其根据所述喷出量的所述分布，将所述喷嘴组分类为第一 喷嘴组和第二喷嘴组；

构成工序，其形成由所述第一喷嘴组组成的第一喷嘴构成体或由所述 第二喷嘴组组成的第二喷嘴构成体；

喷出工序，其使用所述第一喷嘴构成体或所述第二喷嘴构成体，向所 述工件进行喷出；

平坦化工序，其放置被喷出的所述液状体，

其中，所述第一喷嘴组中所述第二端部侧的所述喷出量比所述第一端 部侧的所述喷出量大，所述第二喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量比 所述第二端部侧的所述喷出量大。

2.一种喷出方法，其为由多个喷嘴组向工件喷出液状体的喷出方法， 其特征在于，

构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，

该喷出方法具有：

分布运算工序，其测定所述喷嘴的喷出量，对所述喷出量的分布进行 运算；

分类工序，其根据所述喷出量的所述分布，将所述喷嘴组分类为第一 喷嘴组、第二喷嘴组、第三喷嘴组；

构成工序，其形成由所述第一喷嘴组及所述第三喷嘴组组成的第四喷 嘴构成体、或者所述第二喷嘴组及所述第三喷嘴组组成的第五喷嘴构成 体；

喷出工序，其使用所述第四喷嘴构成体或所述第五喷嘴构成体向所述 工件进行喷出；

平坦化工序，其放置被喷出的所述液状体，

其中，所述第一喷嘴组中所述第二端部侧的所述喷出量比所述第一端 部侧的所述喷出量大，所述第二喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量比 所述第二端部侧的所述喷出量大，所述第三喷嘴组中所述第一端部侧的所 述喷出量与所述第二端部侧的所述喷出量同量。

3.一种喷出方法，其为由多个喷嘴组向工件喷出液状体的喷出方法， 其特征在于，

构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，

该喷出方法具有：

分布运算工序，其测定所述喷嘴的喷出量，对所述喷出量的分布进行 运算；

分类工序，其利用所述喷出量的所述分布，从所述喷嘴组分类出第三 喷嘴组；

构成工序，其形成由所述第三喷嘴组组成的第三喷嘴构成体；

喷出工序，其利用所述第三喷嘴构成体，向所述工件进行喷出；

平坦化工序，其放置被喷出的所述液状体，

其中，所述第三喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量与所述第二端 部侧的所述喷出量同量。

4.一种喷出方法，其为由多个喷嘴组向工件喷出液状体的喷出方法， 其特征在于，

构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，

该喷出方法具有：

分布运算工序，其测定所述喷嘴的喷出量，对所述喷出量的分布进行 运算；

分类工序，其根据所述喷出量的所述分布，将所述喷嘴组分类成第一 喷嘴组、第二喷嘴组、第三喷嘴组；

构成工序，其形成由所述第一喷嘴组、所述第二喷嘴组及所述第三喷 嘴组组成的第六喷嘴构成体；

喷出工序，其利用所述第六喷嘴构成体，向所述工件进行喷出；

平坦化工序，其放置被喷出的所述液状体，

其中，所述第一喷嘴组中所述第二端部侧的所述喷出量比所述第一端 部侧的所述喷出量大，所述第二喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量比 所述第二端部侧的所述喷出量大，所述第三喷嘴组中所述第一端部侧的所 述喷出量和所述第二端部侧的所述喷出量同量，

在所述构成工序中，相邻所述第一喷嘴组配置另一第一喷嘴组或所述 第三喷嘴组，相邻所述第二喷嘴组配置另一第二喷嘴组或所述第三喷嘴 组。