[发明专利]物理量传感器及其制造方法

权利要求书

1.一种电容型湿度传感器，包括：

检测衬底，其包括置于检测衬底第一侧上的检测部分；以及

包括电路部分的电路板，其中

检测部分和电路部分形成于不同的板上，从而使得检测部分没有 保护薄膜，

检测部分根据检测部分的电容变化而对湿度进行检测，

电路部分将检测部分的电容变化处理为电信号，

检测部分电连接于电路部分上，

检测衬底还包括置于同检测衬底的第一侧相对的检测衬底第二侧 上的传感器垫，

传感器垫用作电路部分所用的连接端子，以及

传感器垫通过位于检测衬底的通孔中的导体电连接于检测部分 上。

2.根据权利要求1所述的传感器，还包括：

密封构件，其中

电路板还包括作为用于传感器垫的连接端子的第一垫，

第一垫置于电路板的第一侧上，

第一垫电连接于电路部分上，

检测衬底和电路板按照使得检测衬底的第二侧与电路板的第一侧 接触的方式堆叠，

传感器垫通过连接构件电连接于第一垫上，以及

密封构件为环形并且置于电路板的第一侧与检测衬底的第二侧之 间，从而使得密封构件密封着传感器垫和第一垫。

3.根据权利要求2所述的传感器，其中

电路部分置于电路板的第一侧上从而使得密封构件将电路部分与 第一垫密封在一起。

4.根据权利要求2所述的传感器，其中

电路部分置于同电路板的第一侧相对的电路板的第二侧上，以及

电路部分被保护薄膜覆盖。

5.根据权利要求2-4中任一项所述的传感器，其中

电路板还包括置于电路板的第一侧的一部分上的第二垫，该部分 并未与检测衬底重叠，以及

第二垫通过布线而电连接于电路部分上。

6.根据权利要求1所述的传感器，其中

检测部分包括一对梳齿电极和湿度感应薄膜，

检测衬底由半导体衬底制成，

梳齿电极彼此交错以便使得梳齿电极隔开预定距离，以及

湿度感应薄膜覆盖着梳齿电极以及所述梳齿电极之间的空间。

7.根据权利要求6所述的传感器，其中

湿度感应薄膜能够根据大气中的湿度来改变湿度感应薄膜的相对 电容率，

电路板具有挠性以便使得电路板可以根据安装部分的曲率而变 形，

传感器安装于安装部分上以便使得电路板的第二侧与安装部分接 触，以及

电路板的第二侧与电路板的第一侧相对，其中第一侧面向检测衬 底。

8.根据权利要求7所述的传感器，其中

电路部分将梳齿电极之间的电容变化处理为电信号。

9.根据权利要求7或8所述的传感器，其中

梳齿电极通过检测衬底上的传感器垫而电连接于电路部分上。

10.根据权利要求7或8所述的传感器，其中

安装部分为机动车的挡风玻璃。

11.一种用于制造电容型湿度传感器的方法，该方法包括以下步 骤：

制备检测衬底，其包括置于检测衬底第一侧上的检测部分；

制备包括电路部分的电路板；以及

在检测部分与电路部分之间进行电连接，其中

检测部分和电路部分形成于不同的板上，从而使得检测部分没有 保护薄膜，

检测部分能够根据大气中的湿度来改变检测部分的电容，

电路部分将检测部分的电容变化处理为电信号，

制备检测衬底的步骤包括在检测衬底第二侧上形成传感器垫的步 骤，

检测衬底的第二侧同检测衬底的第一侧相对，

传感器垫用作电路部分所用的连接端子，以及

传感器垫通过位于检测衬底的通孔中的导体而电连接于检测部分 上。