[发明专利]对图案化介质盘进行度量的系统、方法和设备

权利要求书

1.一种数据存储盘，包括：

基底，具有构造有曲线周期的介质构成的数据存储结构，所述数据存储 结构具有多个物理部件；以及

所述基底上的且与所述曲线周期结合的测试结构构成的测试区，所述测 试结构配置有与所述数据存储结构的所述多个物理部件不同的物理部件，用 于方便对所述测试结构和数据存储结构的测量，

其中所述测试结构构造有直线周期。

2.根据权利要求1的数据存储盘，其中所述基底具有径向中心，所述 曲线周期包括围绕该径向中心排列的多个同心圆环图案，所述测试区包括均 匀散布在所述同心圆环图案中的多个测试区。

3.根据权利要求2的数据存储盘，其中所述测试区排列成自该径向中 心径向延伸的多个辐条，每个测试区具有矩形周界。

4.根据权利要求1的数据存储盘，其中所述直线周期包括矩形图案和 六边形图案之一。

5.根据权利要求1的数据存储盘，其中所述测试区用于数据存储。

6.根据权利要求1的数据存储盘，其中所述测试区不能用于数据存储。

7.根据权利要求1的数据存储盘，其中所述测试区是毯膜图案中的非 部件垫，用于厚度、密度和成分的膜表征。

8.根据权利要求1的数据存储盘，其中所述测试区是点阵状点图案， 用于临界尺寸、高度、角度、粗糙度和倒角的图案尺寸表征。

9.根据权利要求8的数据存储盘，其中所述点阵状点图案被调整从而 形成空行和间隔，用于测量高分辨率图案。

10.根据权利要求1的数据存储盘，其中所述测试区具有空行和间隔， 用于测量高分辨率图案。

11.根据权利要求1的数据存储盘，其中所述测试区具有实线和间隔， 用于表征轨道图案、离散轨道和预图案化的伺服图案的临界尺寸、高度、角 度、粗糙度和倒角。

12.根据权利要求1的数据存储盘，其中所述测试结构和所述数据存储 结构均包括磁介质。

13.根据权利要求1的数据存储盘，其中所述测试结构包括电介质膜中 的形貌部件。

14.根据权利要求1的数据存储盘，其中所述测试结构包括被蚀刻成岛 的磁层。

15.根据权利要求1的数据存储盘，其中所述测试结构包括具有共形保 护层的图案化磁层。

16.一种硬盘驱动器，包括：

外壳；

可旋转地安装于所述外壳的数据存储盘，所述数据存储盘包括基底，该 基底具有构造有曲线周期的介质构成的数据存储结构、以及所述基底上的且 与所述曲线周期结合的介质的测试结构构成的测试区，所述测试结构构造有 直线周期以方便对所述测试结构和数据存储结构的测量；以及

可移动地安装于所述外壳的致动器，该致动器具有用于从所述数据存储 盘读出数据的换能器。

17.根据权利要求16的硬盘驱动器，其中所述基底具有径向中心，所 述曲线周期包括围绕该径向中心排列的多个同心圆环图案；且其中

所述测试区包括均匀散布在所述同心圆环图案中的多个测试区，所述测 试区排列成自该径向中心径向延伸的多个辐条，每个测试区具有矩形周界。

18.根据权利要求16的硬盘驱动器，其中所述直线周期包括矩形图案 和六边形图案之一，所述测试区不能用于数据存储。

19.根据权利要求16的硬盘驱动器，其中所述测试区为下列之一：

毯膜图案中的非部件垫，用于厚度、密度和成分的膜表征；以及

点阵状点图案，用于临界尺寸、高度、角度、粗糙度和倒角的图案尺寸 表征，所述点阵状点图案被调整从而形成空行和间隔以用于测量高分辨率图 案。