[发明专利]磁头的制造方法以及用于该制造方法的加工夹具

说明书

技术领域

本发明涉及一种磁头的制造方法以及用于该制造方法的加工夹具。

背景技术

硬盘装置等磁读写装置中的记录方式包括：信号磁化方向为记录介质面内方向(纵向方向)的纵向磁记录方式，以及信号磁化方向为垂直于记录介质面方向的垂直磁记录方式。与纵向磁记录方式相比，垂直磁记录方式具有不易受到记录介质热波动的影响，并能实现高线记录密度等优点。

在一般的磁头制造方法中，首先在基板(晶圆)上形成若干磁头，该磁头具有用于读取磁信息的读取元件和用于写入磁信息的写入元件，然后切断该基板，形成分别包含了若干磁头的若干长形条(bar)(也称作列(或行row))，并对每个长形条进行研磨，之后，再将研磨后的长形条切割成单个磁头(参照专利文献1、2)。在现有技术的纵向磁记录方式的磁头中，为了高精密度地形成读取元件的磁极长度(MR高度)而规定了研磨量。为了达到期望的研磨量例如可以采用以下方法：使用当MR高度达到适当大小时就会输出信号的测定仪器，一边研磨长形条的被研磨面(完成研磨时在磁记录介质上方并面向磁记录介质的飞行面)一边观察测定仪器输出的信号，并在输出信号时结束研磨。

专利文献1记载的方法中，当在基板上形成读取元件及写入元件时，同时形成被称作电研磨终止标记(ELG，Electrical Lapping Guide)的电阻元件，并规定了所述电阻元件相对于各元件的位置关系。接着，将长形条安装在加工夹具上并一边进行研磨一边测定ELG的阻值或者各元件自身的阻值，再由该阻值求出长形条的翘曲(也称作Row Bow)状态，然后根据该长形条的翘曲状态向加工夹具施加矫正负荷使加工夹具变形，进而矫正长形条的翘曲。

在纵向磁记录方式的磁头中，MR高度对准确读取记录于磁记录介质上微弱的磁力具有较大影响。因此，专利文献1中提出为了高精密度地形成MR高度而向加工夹具施加适当矫正负荷的方法。但是在纵向磁记录方式的磁头中，对写入元件的磁极长度(颈高度，Neck height)，并不像MR高度的精密度那样被严格要求。

与之相对，由于与纵向磁记录方式相比，垂直磁记录方式的磁头密度更高，所以颈高度对记录特性的影响较大。因此，与MR高度相同，必须高精密度的形成颈高度。因此，专利文献2中公开了一种根据实际测定的MR高度和颈高度，来调节长形条被研磨面角度的方法。

专利文献2记载的方法中使用了扫描电子显微镜(SEM)等装置来实际测定MR高度和颈高度，再根据测定值计算长形条的倾斜度，因此在处理上要花费较长时间。并且，求算颈高度时的测定误差较大，导致长形条倾斜度的误差也变大。因此难以达到所需程度的高精密度。

进一步地，与专利文献1相同，即使根据长形条的翘曲状态向加工夹具施加矫正负荷，使加工夹具变形以矫正长形条的翘曲，然后再进行研磨等加工，有时也不能同时获得恰当的MR高度和恰当的颈高度。在一个长形条上存在若干读取元件和若干写入元件，即使调整固定于加工夹具上的长形条的倾斜角度，或者向加工夹具施加矫正负荷，然后再进行研磨等加工，对所有的读取元件和写入元件来说，也难以获得恰当的MR高度和恰当的颈高度。

专利文献1：日本专利特开平成10-14658号公报

专利文献2：日本专利特开2006-331562号公报

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种经过简单并迅速的处理就能够高精密度地形成MR高度和颈高度的磁头制造方法，并提供一种用于该制造方法的加工夹具。

本发明涉及一种具有读取元件和写入元件的磁头的制造方法，该方法包括以下步骤：准备长形条的步骤，在长形条上形成了若干磁头；将长形条安装并固定在具有若干夹具光学标记的加工夹具上的步骤；检测若干夹具光学标记的位置的步骤，上述若干夹具光学标记设置在安装了长形条的加工夹具上；根据检测出的若干夹具光学标记的位置来求算加工夹具的变形，当加工夹具的变形在容许范围内时，用加工夹具继续固定长形条，当加工夹具的变形在容许范围之外时，卸下长形条的步骤；对安装在加工夹具上的长形条进行加工的步骤；将进行加工后的长形条切割成单个磁头的步骤。