[发明专利]玻璃数据设计系统、方法以及程序无效

专利信息
申请号: 200810169805.3 申请日: 2008-10-07
公开(公告)号: CN101555097A 公开(公告)日: 2009-10-14
发明(设计)人: 千田英树 申请(专利权)人: 株式会社绩达特
主分类号: C03B33/02 分类号: C03B33/02
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人: 梁晓广;车 文
地址: 日本国*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 玻璃 数据 设计 系统 方法 以及 程序
【权利要求书】:

1.一种设计平板显示器用的玻璃数据的平板显示器用玻璃数据 设计系统,其特征在于,

所述平板显示器用玻璃数据设计系统输入面板单元数据的形状、 配置在所述面板单元数据周边的对准标记数据的形状以及包含玻璃单 元尺寸和各数据的配置信息的参数信息;

并包括:分划板数据生成机构,其具有:输出作为配置有所述面 板单元数据的照明用光掩模的数据的面板分划板单元数据的面板分划 板数据输出功能;和生成并输出作为配置有所述对准标记数据的照明 用光掩模的数据的对准分划板单元数据的对准分划板数据输出功能; 以及

玻璃单元数据生成机构,其具有:生成并输出配置有所述面板单 元数据和所述对准标记数据的玻璃单元数据的玻璃单元数据输出功 能;和生成并输出用于生成玻璃单元数据的工艺信息的工艺信息输出 功能。

2.如权利要求1所述的平板显示器用玻璃数据设计系统,其特征 在于,所述玻璃单元数据生成机构输入所述面板单元数据的形状和配 置有多个该面板单元数据的玻璃单元的尺寸;

并具有利用计算公式计算出能够在所述玻璃单元上取得的所述面 板单元数据的个数的个数计算功能,所述计算公式至少包含用设在所 述玻璃单元上并将配置有所述面板单元数据的集合的面板单元的尺寸 的数值除以面板单元数据形状的数值的计算项。

3.如权利要求1或2所述的平板显示器用玻璃数据设计系统,其 特征在于,所述玻璃单元数据生成机构除了输入所述面板单元数据形 状和所述玻璃单元的尺寸以外,还从所述分划板数据生成机构输入所 述面板分划板单元数据的尺寸;

所述玻璃单元数据生成机构具有根据配置有所述面板单元数据形 状的所述面板分划板单元数据计算出曝光照射次数的曝光次数计算功 能。

4.如权利要求1或2所述的平板显示器用玻璃数据设计系统,其 特征在于,指定分划板的尺寸、所述玻璃单元的尺寸以及可曝光范围 作为所述参数信息。

5.如权利要求1或2所述的平板显示器用玻璃数据设计系统,其 特征在于,

所述玻璃单元数据生成机构具有曝光照射数据生成功能,利用配 置有由所述分划板数据生成机构生成的所述面板单元数据的所述面板 分划板单元数据的一部分或全部生成包含所述面板分划板单元数据上 的至少2个面板单元数据的曝光照射数据。

6.如权利要求1或2所述的平板显示器用玻璃数据设计系统,其 特征在于,所述玻璃单元数据生成机构具有余数计算功能,用相当于 所述玻璃单元尺寸的区域除以与一次曝光照射区域对应的大小,求出 玻璃单元上的相当于余数的区域。

7.如权利要求1或2所述的平板显示器用玻璃数据设计系统,其 特征在于,所述工艺信息中记载有所述曝光照射数据的XY坐标。

8.如权利要求1或2所述的平板显示器用玻璃数据设计系统,其 特征在于,在图形装置中具备输入输出控制机构,所述输入输出控制 机构具有显示所述面板单元数据、所述面板分划板单元数据和所述玻 璃单元数据的数据显示功能。

9.如权利要求1或2所述的平板显示器用玻璃数据设计系统,其 特征在于,

所述平板显示器用玻璃数据设计系统还包括存储机构、运算处理 部和输入输出机构;

所述存储机构中存储的内容包含:通过所述运算处理部执行的程 序组;由输入到所述运算处理部的所述面板单元数据形状、所述对准 标记数据的形状及所述参数信息构成的输入数据;和由所述分划板数 据、所述玻璃单元数据及所述工艺信息构成的输出数据。

10.一种平板显示器用玻璃数据设计方法,其特征在于,包括:

数据输入工序,输入面板单元数据、对准标记数据以及包含参数 信息的数据,所述参数信息具有玻璃单元尺寸和各数据的配置信息;

分划板单元A数据生成工序,根据所述面板单元数据和所述参数 信息生成作为面板单元的最大曝光单位集合的分划板单元A的数据;

曝光照射区域识别工序,识别在所述玻璃单元尺寸上利用所述分 划板单元A的一部分或全部进行曝光的多个曝光照射区域的配置;

曝光照射区域选择工序,从所述多个曝光照射区域中以曝光区域 从大到小的顺序自所述分划板单元A选择特定的所述曝光照射区域;

曝光照射配置工序,将所选择的所述曝光照射区域配置在玻璃单 元上作为曝光照射;

可曝光范围检查工序,判断所配置的所述曝光照射区域是否能在 制造中曝光;

玻璃单元曝光结束判断工序,根据在所述曝光照射配置工序中配 置并在所述可曝光范围检查工序中判断为能曝光的所述曝光照射区 域,判断所述玻璃单元的面板单元的可曝光范围是否被全部填满;

曝光照射区域选择重复工序,在所述玻璃单元曝光结束判断工序 中判断为所述玻璃单元曝光区域未被填满的情况下,再次返回所述曝 光照射区域选择工序,重复相同的处理;

对准标记配置工序,根据所述对准标记数据和所述参数信息生成 作为对准标记的曝光照射数据的照射B的数据,在所述玻璃单元尺寸 上以阵列式配置;

分划板单元B数据生成工序,在分划板上生成所述照射B的数据, 并生成分划板单元B数据;

对准标记可曝光范围检查工序,判断由所述分划板单元B数据生 成的对准标记是否能在制造中曝光;

边缘检查工序,检查通过各工序在玻璃单元上形成的各曝光照射 的整体是否收敛于由所述参数信息指定的玻璃单元的边缘;和

设计结果输出工序,输出最后生成的数据和用于生成玻璃单元的 工艺信息。

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