[发明专利]准分子灯

说明书

技术领域

本发明涉及一种放射紫外线的准分子灯，更具体地说，涉及在放 电容器的面向放电空间的内表面上形成有紫外线反射膜的准分子灯。

背景技术

以往，准分子灯例如在半导体装置的制造工序及液晶基板制造工 序等中，用作清洗处理、去灰处理及成膜等通过照射紫外线进行的表 面处理的紫外线照射源。

在此种准分子灯中，提出了作为用于以高效率放射紫外线的手段， 而在放电容器的面向放电空间的内表面上设置紫外线反射膜的技术(例 如参照专利文献1)。

在紫外线反射膜设于放电容器的内表面上的构成的这种准分子灯 中，通过放电容器的内表面一部分的未形成紫外线反射膜的区域，形 成用于使在该放电容器内的放电空间中产生的紫外线朝外部出射的光 出射窗。

根据此种准分子灯，通过将在放电容器内产生而朝光出射窗方向 以外的方向的紫外线反射于紫外线反射膜，可与朝光出射窗的方向直 接放射的紫外线一起，从光出射窗出射，因此能以高效率放射紫外线。

形成于准分子灯上的紫外线反射膜，通过具有高紫外线反射率的 紫外线散射粒子形成，具有层积有该紫外线散射粒子的构成。

作为构成紫外线反射膜的紫外线散射粒子，使用二氧化硅粒子、 氧化铝粒子、氟化镁粒子、氟化钙粒子、氟化锂粒子、氧化镁粒子等。

在此种紫外线散射粒子的层积体、即紫外线反射膜中，入射紫外 线时，通过该紫外线在多个紫外线散射粒子的表面折射及反射，而朝 与入射方向不同的方向漫反射。

另一个面，在准分子灯等放射紫外线的灯中，作为放电容器，广 泛地使用二氧化硅玻璃制的放电容器。

如图10及图11所示，准分子灯的某种，具备两端被封闭、而在 内部形成有放电空间S的大约直管状的二氧化硅玻璃制的放电容器20， 在将该放电容器20的封入有放电用气体的放电空间S围绕的上壁板 21、下壁板23、侧壁板25及端壁板26中的相对的上壁板21及下壁板 23的各自的外表面21A、23A上，相对配置有一个电极11及另一个电 极12。在该准分子灯中，在形成有一个电极11的上壁板21的内表面 21B上形成紫外线反射膜50，此外通过该放电容器20的内表面中未形 成紫外线反射膜50的区域(具体为下壁板23的内表面23B及侧壁板25 的内表面25A)，形成用于使在放电空间S中产生的紫外线朝外部出射 的光出射窗。

在图10中，28是片状管，29是凸缘部。

此种准分子灯，通过将高频电压施加在一个电极11与另一个电极 12之间，使得放电容器20及紫外线反射膜50作为电介质发挥功能， 在放电空间S中，在紫外线反射膜50及与该紫外线反射膜50相对的 下壁板23的面向放电空间S的表面上(具体为紫外线反射膜50的表面 51及下壁板23的内表面23B)产生放电起点，从而产生电介质壁垒放 电，通过该电介质壁垒放电形成有由来于放电用气体的准分子分子， 使紫外线从由放电容器20的下壁板23及侧壁板25构成的光出射窗出 射。

但是，如图12所示，在点灯状态的准分子灯中，从紫外线反射膜 50的端部55产生异常放电a，在产生该异常放电时，准分子灯整体的 放电能量的消耗平衡崩溃，从而存在紫外线照射对象体的紫外线照射 对象面产生照度不均、无法均匀地照射紫外线照射对象面的问题。

即，在准分子灯，在未产生异常放电a时，在放电空间S中大约 均匀地以同一放电强度产生无数柱状的放电(以下也称为“柱状放 电”)b，但在产生异常放电a时，该异常放电a会消耗放电能量，因此 在该异常放电a的产生部分的周边部，柱状放电b的放电强度变小。因 此，在异常放电a的产生部分，紫外线的放射强度降低，结果，在紫外 线照射对象体的紫外线照射对象面中，与异常放电a的产生部分对应的 区域的照度比其它区域低。

在图12的例子中，异常放电a产生于准分子灯的紫外线反射膜50 的一个端部(右侧端部)55，所以，在该准分子灯中，位于一个端部55 的部分的放射强度比其它部分小。

此外，在准分子灯中，因产生该异常放电a，还有在紫外线反射膜 50的端部55产生剥落的问题。

专利文献1：日本专利第3580233号公报

发明内容

本发明鉴于上述问题，其目的是在于提供一种准分子灯，其能以 高效率放射紫外线，而且能以高均匀性照射紫外线照射对象体的紫外 线照射对象面，并且不会产生紫外线反射膜的剥落。