[发明专利]功能液滴喷头的功能液填充方法、功能液供给装置

权利要求书

1.一种功能液滴喷头的功能液填充方法，其特征在于，包括：

初期填充工序，经由功能液流路从功能液箱向喷墨方式的功能液滴喷头导入功能液，对所述功能液流路及所述功能液滴喷头的喷头内流路进行功能液的初期填充；

清洗液通液工序，在所述初期填充工序之前，向所述功能液流路及所述功能液滴喷头的喷头内流路中输通清洗液，

所述清洗液通液工序中，作为所述清洗液采用所述功能液的溶剂及含有界面活性剂的溶液，

在输通所述溶剂之后，输通所述溶液。

2.根据权利要求1所述的功能液滴喷头的功能液填充方法，其特征在于，

所述清洗液通液工序中，在输通所述溶液之后，再次输通所述溶剂。

3.根据权利要求1或2所述的功能液滴喷头的功能液填充方法，其特征在于，

所述初期填充工序中，在将所述功能液流路连接到所述功能液箱的状态下，从所述功能液滴喷头的喷嘴吸引功能液，从而进行所述初期填充，

所述清洗液通液工序中，在将所述功能液流路从所述功能液箱切换连接到清洗液箱的状态下，从所述功能液滴喷头的喷嘴吸引清洗液，从而进行所述输通。

4.一种功能液供给装置，其特征在于，包括：

向喷墨方式的功能液滴喷头供给功能液的功能液箱；

向所述功能液滴喷头供给清洗液的清洗液箱；

连接所述功能液箱及所述清洗液箱和所述功能液滴喷头的所述功能液流路；

将所述功能液流路的上游端在所述功能液箱和所述清洗液箱之间切换流路的流路切换装置；

脱离连接自如地密接在所述功能液滴喷头的喷嘴面上并分别吸引所述功能液及所述清洗液的吸引装置；和

控制所述流路切换装置及所述吸引装置的控制装置，

所述控制装置在初期填充动作之前执行清洗液通液动作，

所述初期填充动作是将所述功能液流路切换到所述功能液箱侧并且驱动所述吸引装置，向所述功能液流路及所述功能液滴喷头的喷头内流路填充功能液，

所述清洗液通液动作是将所述功能液流路切换到所述清洗液箱侧并且驱动所述吸引装置，向所述功能液流路及所述功能液滴喷头的喷头内流路输通清洗液，

所述清洗液为所述功能液的溶剂及含有界面活性剂的溶液，

所述清洗液箱包括贮存所述溶剂的溶剂箱和贮存所述溶液的溶液箱，

所述流路切换装置能够在所述功能液箱、所述溶剂箱和所述溶液箱相互间切换流路，

所述控制装置在清洗液通液动作中，在溶剂通液动作之后执行溶液通液动作，

所述溶剂通液动作是将所述功能液流路切换到所述溶剂箱侧并且驱动所述吸引装置，向所述功能液流路及所述功能液滴喷头的喷头内流路输通所述溶剂，

所述溶液通液动作是将所述功能液流路切换到所述溶液箱侧并且驱动所述吸引装置，向所述功能液流路及所述功能液滴喷头的喷头内流路输通所述溶液。

5.根据权利要求4所述的功能液供给装置，其特征在于，

所述控制装置在清洗液通液动作中，在执行所述溶液通液动作之后，再次执行所述溶剂通液动作，

6.一种液滴喷出装置，其特征在于，

具备权利要求4或5所述的功能液供给装置和在使所述功能液滴喷头相对于工件相对移动的同时使其喷出功能液滴的描绘装置。

7.一种电光学装置的制造方法，其特征在于，

使用权利要求6所述的液滴喷出装置在所述工件上形成基于功能液滴的成膜部。