[发明专利]压电振动片、压电振子以及加速度传感器

权利要求书

1.一种压电振动片，该压电振动片由Z切割压电基板形成，并且由 如下部分构成：振动臂，其在纵长方向上被悬臂支撑；基部，其悬臂支 撑所述振动臂；以及激励电极，其使所述振动臂沿与厚度方向垂直的方 向弯曲振动，该压电振动片的特征在于，

所述振动臂具有调整部，该调整部相对于所述振动臂的厚度方向的 弯曲来调整刚性，

所述调整部由以下部分构成：从所述振动臂的+Z面的基部侧起沿所 述振动臂的自由端方向形成的第一槽；从所述振动臂的-Z面的基部侧起 沿所述振动臂的自由端方向形成的第二槽；以及仅对所述第二槽在该第 二槽的基部侧形成的梁。

2.如权利要求1所述的压电振动片，其特征在于，

所述梁离开所述第二槽的基部侧并靠近自由端侧。

3.如权利要求1或2所述的压电振动片，其特征在于，

所述调整部具有设于振动臂的+Z面的第一电极膜和设于振动臂的 -Z面的第二电极膜，所述第一电极膜比所述第二电极膜薄。

4.如权利要求1或2所述的压电振动片，其特征在于，

所述振动臂以两根平行地被悬臂支撑的方式设置于所述基部上，形 成于一方振动臂的所述激励电极和形成于另一方振动臂的所述激励电极 通过交叉配线连接。

5.一种压电振子，其特征在于，

将权利要求1或2所述的压电振动片以所述基部为固定端安装成悬 臂支撑状态。

6.一种加速度传感器，其特征在于，

将权利要求1或2所述的压电振动片以所述基部为固定端安装成悬 臂支撑状态。