[发明专利]半导体检测仪

说明书

技术领域

本发明涉及一种半导体材料检测装置，特别是一种同时检测半导体材料电阻率和型号的综合检测装置。

背景技术

目前常用的半导体材料电阻率检测装置和半导体材料的型号检测装置，分别只具有检测半导体材料的电阻率或型号的功能。如果需要同时检测半导体材料的电阻率和型号，则需要同时配备两种设备：电阻率测试设备和材料型号测试设备，这给检测者带来程序上的重复，也给使用单位带来成本的提高。在半导体材料挑选方面得经过两种不同的步骤，造成很低的劳动效率的同时也增加了企业的投入和产品成本。另外在外出选料时，采购人员还必须携带两台设备极其不方便。

发明内容

本发明的目的是提供一种半导体检测仪，以克服常用电阻率测试设备和材料型号测试设备分别只能检测半导体材料的电阻率和型号，效率低、成本高的缺点。

本发明的目的是通过以下技术方案来实现：

一种半导体检测仪，包括半导体型号测试部分和半导体电阻率测试部分，所述半导体型号测试部分和半导体电阻率测试部分通过自动切换部分连接，所述自动切换部分与测试探针连接。

本发明的有益效果为：整合了硅材料测试中的电阻率测试和材料型号测试两部分，充分利用智能设备中单片机完成自动的检测和两部分的相互切换，无需手工干涉，提高了产品智能化水平、一体化程度和劳动生产率。

附图说明

下面根据附图和实施例对本发明作进一步详细说明。

图1是本发明实施例所述的半导体检测仪的工作原理图。

图中：

1、半导体型号测试部分；2、半导体电阻率测试部分；3、自动切换部分；4、测试探针。

具体实施方式

如图1所示，本发明所述的半导体检测仪，包括半导体型号测试部分1和半导体电阻率测试部分2，所述半导体型号测试部分1和半导体电阻率测试部分2通过自动切换部分3连接，所述自动切换部分3与测试探针4连接。在测试完电阻率值以后，通过软件控制内部电路自动切换四根探针到型号检测部分采用整流法用于半导体型号检测，该切换时仪器设备内部自动执行的，用户根本感觉不到该切换到存在。同时测出了半导体的型号和电阻率。