[发明专利]具有前驱物预先混合的喷头设计

权利要求书

1、一种在一个或多个衬底上形成III-V族膜的方法，包括：

将一个或多个含金属前驱物气体和含氮前驱物气体引入混合区域以形成混合物；以及

经所述一个或多个衬底上方的一组通路，将所述混合物引入处理部。

2、根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：

监视所述混合区域的温度；以及

基于所述混合区域的监视温度控制混合区域中的温度。

3、根据权利要求2所述的方法，其特征在于，还包括：

控制一个或多个加热元件以将混合腔保持在预定温度，其中所述预定温度在50摄氏度至550摄氏度之间的温度范围内。

4、根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述含金属前驱物气体包括：

从由镓、铝和铟组成的组群中所选的至少一种金属；以及

从由氯、碘和溴组成的组群中的至少一种VII族元素。

5、一种用于氢化物气相外延腔的气体传输装置，包括：

第一入口，提供一种或多种含金属前驱物气流；

第二入口，提供含氮前驱物气流；

在混合区域中的所述入口的连接体，允许所述前驱物气体形成混合物；以及

一组通路，将所述混合物提供至所述氢化物气相外延腔。

6、根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述一组通路包括：

中空主管道，位于所述至少一个衬底的表面上方，并与所述混合区域的出口液态连接；

一个或多个中空分支管道，液态连接到所述主管道并设置于所述至少一个衬底的表面上方并基本平行于所述至少一个衬底的表面；以及

多个气体端口，形成在所述分支管道中，从而所述分支管道中的气体向所述至少一个衬底方向离开所述分支管道。

7、根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述中空主管道和中空分支管道由不同材料构成。

8、根据权利要求6所述的装置，其特征在于，

所述中空主管道沿由主管道形成的弧形设置；以及

所述分支管道中的每一个穿过所述腔延伸，从所述主管伸出道。

9、根据权利要求5所述的装置，其特征在于，

包含表面暴露于混合的前驱物气体的所述装置的一些部分的多个区域保持在预定温度，所述预定温度在50摄氏度至550摄氏度之间的温度范围内。

10、根据权利要求9所述的装置，其特征在于，还包括：

温度控制部件，将所述多个区域保持在一个或多个预定温度。

11、根据权利要求10所述的装置，其特征在于，

所述温度控制部件允许独立控制所述区域的至少两个。

12、根据权利要求10所述的装置，其特征在于，

一个或多个区域包括所述混合区域。

13、根据权利要求12所述的装置，其特征在于，

所述一个或多个区域还包括所述衬底处或附近的区域。

14、根据权利要求5所述的装置，其特征在于，

所述混合区域位于处理部内。

15、根据权利要求5所述的装置，其特征在于，

所述混合区域位于该处理部之外。

16、根据权利要求5所述的装置，其特征在于，

所述混合区域位于该腔之外。