[发明专利]干涉仪

权利要求书

1.一种干涉仪，包括：

光源；

光波分割和合成部，用于将从所述光源所发射的光分割成要照射在第一反射面上的第一光和要照射在第二反射面上的第二光，所述光波分割和合成部对被所述第一反射面反射后的所述第一光和被所述第二反射面反射后的所述第二光进行合成，以形成合成光；

多相位干涉光生成部，用于根据所述合成光，生成具有第一相位的第一干涉光、具有与所述第一相位相差180°的第二相位的第二干涉光、具有与所述第一相位相差90°的第三相位的第三干涉光以及具有与所述第一相位相差270°的第四相位的第四干涉光；

光接收部，用于接收所述第一干涉光到所述第四干涉光；

干涉信号生成部，用于基于所接收到的所述第一干涉光到所述第四干涉光，生成第一干涉信号、第二干涉信号、第三干涉信号和第四干涉信号；

三相信号生成部，用于基于所述第一干涉信号到所述第四干涉信号之间的差，生成相位差为90°的三相信号；以及

两相信号生成部，用于对相位差为90°的所述三相信号执行矢量合成，从而生成相位差为90°的两相信号。

2.根据权利要求1所述的干涉仪，其特征在于，所述三相信号生成部包括：

第一差分信号生成部，用于生成作为所述第一干涉信号和所述第二干涉信号之间的差的第一差分信号；

第二差分信号生成部，用于生成作为所述第三干涉信号和所述第四干涉信号之间的差的第二差分信号；以及

反转差分信号生成部，用于生成通过反转所述第二差分信号而获得的反转差分信号。

3.根据权利要求1或2所述的干涉仪，其特征在于，还包括：

增益控制部，用于控制所述第一干涉信号到所述第四干涉信号的增益。