[发明专利]微米结构和纳米结构的复制和转移

权利要求书

1.一种形成用于电子器件的一组微米结构的方法，包括以下步 骤：

对应于部分所述微米结构在载体上使用模板形成图案化 布局，

加工所述载体以制造所述电子器件的所述一组微米结 构，

将所述一组微米结构从所述载体转移到所述电子器件的 基片，以及

在将所述一组微米结构转移到所述基片之后，溶解所述 模板并除去所述载体。

2.一种形成用于微器件的一组纳米结构的方法，包括以下步骤：

对应于部分所述微器件在载体上使用模板形成图案化布 局，

加工所述载体以制造所述微器件的所述一组纳米结构，

将所述一组纳米结构从所述载体转移到所述微器件的基 片，以及

在将所述一组纳米结构转移到所述基片之后，溶解所述 模板并除去所述载体。

3.一种形成用于MEMS器件的一组结构的方法，包括以下步骤：

对应于部分所述MEMS器件在载体上使用模板形成图案 化布局，

加工所述载体以制造所述MEMS器件的所述一组结构，

将所述一组结构从所述载体转移到所述MEMS器件的基 片，以及

在将所述一组结构转移到所述基片之后，溶解所述模板 并除去所述载体。

4.一种形成用于光子器件的一组结构的方法，包括以下步骤：

对应于部分所述光子器件在载体上使用模板形成图案化 布局，

加工所述载体以制造所述光子器件的所述一组结构，

将所述一组结构从所述载体转移到所述光子器件的基 片，以及

在将所述一组结构转移到所述基片之后，溶解所述模板 并除去所述载体。

5.一种形成用于生物芯片的一组结构的方法，包括以下步骤：

对应于部分所述生物芯片在载体上使用模板形成图案化 布局，

加工所述载体以制造所述生物芯片的所述一组结构，

将所述一组结构从所述载体转移到所述生物芯片的基 片，以及

在将所述一组结构转移到所述基片之后，溶解所述模板 并除去所述载体。