[发明专利]等离子体系统

权利要求书

1.一种等离子体系统，用以产生一等离子体，所述等离子体系统包括：

一第一管体，该第一管体具有一第一进气口、一第一等离子体喷口、 一第一端面及一第二端面，该第一进气口用以让一等离子体气体通过以进 入至该第一管体内，该第一等离子体喷口贯穿该第一管体的管壁，该第一 等离子体喷口用以让所述等离子体通过以喷出至该第一管体外；

一第一正电极，具有一第一正电极侧面及一第一正电极表面，第一正 电极侧面连接于该第一正电极表面，该第一正电极侧面面对且邻近于该第 一管体；以及

一第一负电极，具有一第一负电极侧面及一第一负电极表面，该第一 负电极侧面连接于该第一负电极表面，该第一负电极侧面面对且邻近于该 第一管体，该第一负电极表面与该第一正电极表面相距一第一预设距离；

其中，该第一正电极及该第一负电极位于该第一端面与该第二端面之 间，而至少部份的该第一等离子体喷口位于该第一正电极与该第一负电极 之间；

其中该第一等离子体喷口不朝向该第一正电极与该第一负电极。

2.如权利要求1所述的等离子体系统，其中该第一正电极侧面垂直于 该第一正电极表面，且该第一负电极侧面垂直于该第一负电极表面。

3.如权利要求1所述的等离子体系统，其中该第一正电极侧面及该第 一负电极侧面接触于该第一管体。

4.如权利要求1所述的等离子体系统，其中该第一正电极侧面面对该 第一管体的一第一部分，该第一管体还包括一第一延伸部分，该第一延伸 部分是第一部分的延伸，该第一部分的面积是不小于该第一延伸部份的面 积。

5.如权利要求1所述的等离子体系统，其中该第一负电极侧面面对该 第一管体的一第二部分，该第一管体更包括一第二延伸部份，该第二延伸 部份是该第二部份的延伸，该第二部分的面积是不小于该第二延伸部份的 面积。

6.如权利要求1所述的等离子体系统，其中该第一等离子体喷口的形 状为一圆形。

7.如权利要求1所述的等离子体系统，其中该第一等离子体喷口的外 型为一长条型。

8.如权利要求1所述的等离子体系统，其中该第一正电极侧面轮廓形 状相似于面对的该第一管体的轮廓形状。

9.如权利要求1所述的等离子体系统，其中该第一负电极侧面的轮廓 形状相似于面对的该第一管体的轮廓形状。

10.如权利要求1所述的等离子体系统，其中该第一正电极更具有一 正电极贯穿部及相对该第一正电极表面的一第二正电极表面，该第一正电 极侧面连接该第二正电极表面，该正电极贯穿部贯穿该第一正电极表面与 该第二正电极表面，该第一正电极侧面为该正电极贯穿部的内侧表面。

11.如权利要求1所述的等离子体系统，其中该第一负电极更具有一 负电极贯穿部及相对该第一负电极表面的一第二负电极表面，该第一负电 极侧面连接该第二负电极表面，该负电极贯穿部贯穿该第一负电极表面与 该第二负电极表面，该第一负电极侧面为该负电极贯穿部的内侧表面。

12.如权利要求1所述的等离子体系统，其中该第一进气口位于该第 一端面与该第二端面之一。

13.如权利要求12所述的等离子体系统，其中该第一管体更具有一第 二进气口，位于该第一端面与该第二端面的另一面，用以让所述等离子体 气体通过而进入至该第一管体内。

14.如权利要求12所述的等离子体系统，其中该第一端面与该第二端 面的另一面是封闭。