[发明专利]超纯空气过滤净化系统及空气过滤方法、空气净化的方法

权利要求书

1.一种超纯空气过滤净化系统，包括：

一第一通风路径，连接于至少一外部气体供应器与一洁净室之间，该第 一通风路径用以将来自于所述至少一外部气体供应器的空气导向至该洁净 室；

一第二通风路径，连接于该洁净室，该第二通风路径用以对于该洁净室 中的该空气进行再循环；以及

一第三通风路径，分离于该第一通风路径且连接于所述至少一外部气体 供应器与一设备环境之间，该设备环境设置于该洁净室之中，该第三通风路 径包括一超纯空气过滤单元，该超纯空气过滤单元设置于该外部气体供应器 与该设备环境之间，该超纯空气过滤单元包括一压缩机/干燥机，该压缩机/ 干燥机对于空气进行压缩与干燥而达到降低大气污染物。

2.如权利要求1所述的超纯空气过滤净化系统，其中，该超纯空气过滤 单元包括了具有一加湿器的一前处理单元，该前处理单元的该加湿器用以增 加该压缩机/干燥机的效率，该超纯空气过滤单元还包括一后处理单元，该后 处理单元包括一或多个化学过滤器。

3.如权利要求1所述的超纯空气过滤净化系统，其中，该第一通风路径 包括一或多个高效能空气粒子过滤器，该高效能空气粒子过滤器设置于所述 至少一外部气体供应器与该洁净室之间。

4.如权利要求1所述的超纯空气过滤净化系统，其中，该压缩机用以对 于该空气进行压缩，如此使得该空气中的水蒸气被凝结成为一液态形式，该 压缩机包括一排水管，来自于该压缩机的该凝结液体经由该排水管而移除。

5.一种空气过滤方法，包括以下步骤：

对于一第一补充气流进行过滤；

对于在一超纯空气过滤单元中的一第二补充气流进行净化，该超纯空气 过滤单元包括一压缩机/干燥机；

对于该第一补充气流与一第一再循环气流进行结合以形成结合气流；以 及

将该第二补充气流直接应用于一设备环境之中且将该结合气流应用于 一洁净室之中，其中该设备环境设置于该洁净室之中。

6.如权利要求5所述的空气过滤方法，还包括以下步骤：

在将该结合气流应用于一洁净室之前先进行该结合气流的过滤。

7.如权利要求5所述的空气过滤方法，其中，该第二补充气流的净化包 括以下步骤：

对于该压缩机中的该空气进行压缩，使得该空气中的水蒸气改变为一浓 缩物，该浓缩物包括空气污染粒子；

对于来自该压缩机的该浓缩物进行移除；以及

对于该空气进行干燥，由此以降低残留水含量。

8.如权利要求6所述的空气过滤方法，还包括以下步骤：

利用该结合气流与该第二补充气流的一部分所混合的气流的一部分建 立该第一再循环气流。

9.如权利要求8所述的空气过滤方法，还包括以下步骤：

将该结合气流与该第二补充气流的一部分所混合的气流的另一部分以 及该第二补充气流的直接由该设备环境所排出的另一部分导向至一外部环 境。

10.如权利要求6所述的空气过滤方法，还包括以下步骤：

在进行过滤之前先进行该结合气流的冷却与干燥。

11.如权利要求6所述的空气过滤方法，该第二补充气流的净化包括以 下步骤：

在对于该空气进行压缩与干燥之前先进行该第二补充气流的前处理，其 中，该前处理包括：

对于该空气进行离子化；以及

对于该空气进行加湿，由此以提高该压缩机的效能。

12.如权利要求11所述的空气过滤方法，该第二补充气流的净化还包括 以下步骤：

在对于该空气进行压缩与干燥之后进行该第二补充气流的后处理，其 中，该后处理包括：

对于该空气进行化学性过滤；以及

利用一或多个高效能空气粒子过滤器对于该空气进行过滤。