[发明专利]扫描单元和带有该扫描单元的光学位置测量装置

权利要求书

1.能用于对一个能在测量方向(X)内进行相对运动的比例尺(1) 实施光学扫描的扫描单元，包括：

-一个探测装置(6)；

-一个带有第一表面(10)和第二表面(9)的透明载体(5)， 其中探测装置(6)布置在第二表面(9)上；

-一块透明盖板(15)，该盖板固定在透明载体(5)的第一表面 (10)上并具有一层屏蔽层(16)作为探测装置(6)对电磁场的屏蔽，

-透明载体(5)与探测装置(6)布置在基体(20)的凹槽(21) 中，且凹槽(21)用盖板(15)覆盖，

-基体(20)是导电的，且屏蔽层(16)与基体(20)电导连接，

-透明盖板(15)具有侧向伸出透明载体(5)的区段(15.1)，

-屏蔽层(16)设置在透明盖板(15)的面向透明载体(5)第一 表面(10)的表面上，

-屏蔽层(16)在盖板(15)的伸出区段(15.1)上与基体(20) 电接触。

2.按权利要求1所述的扫描单元，其特征为，该屏蔽层是用导电 材料制成的透明层(16)。

3.按权利要求2所述的扫描单元，其特征为，该导电材料具有铟 锡氧化物。

4.按前述权利要求任一项所述的扫描单元，其特征为，透明载体 (5)具有扫描光栅(7)。

5.按权利要求4所述的扫描单元，其特征为，扫描光栅(7)设置 在透明载体(5)的第一表面(10)上。

6.按权利要求1至3中任一项所述的扫描单元，其特征为，透明 载体(5)的第二表面(9)具有一层构成导体电路模型(11)的涂层， 探测装置(6)用倒装芯片技术与该导体电路模型接触。

7.按权利要求1至3中任一项所述的扫描单元，其特征为，盖板 (15)的屏蔽层(16)用导电的胶粘剂(23)与基体(20)电接触。

8.按权利要求1至3中任一项所述的扫描单元，其特征为，由透 明载体(5)和盖板(15)组成的组件定位在基体(20)的凹槽(21) 中，这时，透明载体(5)的两侧与基体(20)的挡块(24)配合。

9.按权利要求8所述的扫描单元，其特征为，在定位完好的状态 内，盖板(15)在整个周边上离盖板(15)四周对应的基体(20)的 凹槽(21)的内周面有一定距离。

10.光学位置测量装置，带有一个比例尺(1)和一个按前述权利 要求任一项所述的能用于对一个能在测量方向(X)内进行相对运动的 比例尺(1)实施光学扫描的扫描单元，其中透明载体(5)的第一表 面(10)面向比例尺(1)，而透明载体(5)的第二表面(9)则面离 比例尺(1)。