[发明专利]有源矩阵装置、光电显示装置及电子设备

说明书

技术领域

本发明涉及有源矩阵装置、光电显示装置及电子设备。

背景技术

例如，在采用有源矩阵驱动方式的LCD(Liquid Crystal Display：液晶显示器)面板中设置有包括多个像素电极、对应上述各个像素电极而设置的开关元件、以及与各个开关元件连接的配线的有源矩阵装置(例如，参照专利文献1)。

通常，在有源矩阵装置中使用TFT作为开关元件。TFT虽然在其半导体层中使用a-Si薄膜或p-Si薄膜，但由于这些薄膜具有光导电性，所以当光射入时，恐怕存在产生光泄漏，TFT的截止(OFF)阻抗下降、或者TFT的阈值偏移的问题。

在解决上述那样的光泄漏的问题中，通常采用设置用于遮挡射向TFT的光的黑色矩阵那样的遮光层的方法，但当设置这样的遮光层时，导致面板的开口率下降，通过面板的光量变少。

因此，在专利文献1公开的有源矩阵装置(光电显示装置用背板)中，使用机械的开关元件代替上述的TFT。这种机械的开关元件不产生光泄漏。因此，不需要设置遮光层，且可加大开口率。此外，由于机械的开关元件不发生TFT那样因温度而引起的特性改变，所以具有卓越的开关特性。

在专利文献1公开的开关元件中，与悬臂梁对置设置驱动电极，通过给驱动电极通电，从而使驱动电极与悬臂梁之间产生静电引力，使悬臂梁变位并与像素电极接触。通过这样，像素电极与配线可以处于导通状态。

但是，在这样的有源矩阵装置中，在使悬臂梁与像素电极接触时，存在悬臂梁与驱动电极接触及粘合的问题。因此，这样的有源矩阵装置可靠性低。

专利文献1：日本特开2004-6782号公报

发明内容

本发明的目的在于提供具有卓越可靠性且可提高开口率的有源矩阵装置、光电显示装置及电子设备。

上述目的通过下述的本发明实现。

本发明的有源矩阵装置包括：多个像素电极，被设置在基板的一个表面上；开关元件，上述开关元件对应各个上述像素电极设置，上述开关元件包括：固定电极，与上述像素电极连接；可动电极，以相对于上述固定电极接触或背离的方式被变位地设置；以及驱动电极，隔着静电间隙与上述可动电极对置设置；第一配线，与各个上述可动电极连接；以及第二配线，与各个上述驱动电极连接，其中，通过在上述可动电极和上述驱动电极之间施加电压，从而使上述可动电极和上述驱动电极之间产生静电引力，由此，使上述可动电极变位，使上述可动电极与上述固定电极接触，使上述第一配线和上述像素电极处于导通状态，各个上述开关元件包括防止粘合单元，上述防止粘合单元用于防止上述可动电极和上述驱动电极之间的粘合。

由此，可以提供具有优良可靠性且可以提高开口率的有源矩阵装置。

在本发明的有源矩阵装置中，优选上述防止粘合单元被设置在上述可动电极和上述驱动电极的相对面中的至少一面上，上述防止粘合单元包括起模处理部，上述起模处理部相对于上述可动电极和/或上述驱动电极具有起模性。

由此，可以防止可动电极和驱动电极之间的粘合。

在本发明的有源矩阵装置中，优选上述起模处理部是由相对于上述可动电极和/或上述驱动电极具有起模性的材料构成的薄膜。

可以通过使用各种成膜法来简单地形成这样的起模处理部。

在本发明的有源矩阵装置中，优选上述薄膜是绝缘膜。

由此，可以防止当可动电极和驱动电极相接触时它们之间的短路。其结果是，可以进一步提高有源矩阵装置的可靠性。

在本发明的有源矩阵装置中，优选上述起模处理部是形成于上述至少一面上的微小的凹凸。

这样的起模处理部可以发挥起模型和导电性。因此，这样的起模处理部可以被形成在可动电极的与固定电极对置的面上。

在本发明的有源矩阵装置中，优选在各个上述开关元件中的每个上述开关元件中都包括收容部，上述收容部用于收容上述可动电极、上述驱动电极及上述固定电极，上述防止粘合单元包括绝缘性液体，上述绝缘性液体被填充于上述收容部内，且相对于上述可动电极和/或上述驱动电极具有起模性。

由此，可以防止可动电极和驱动电极之间的粘合。

在本发明的有源矩阵装置中，优选上述固定电极、上述可动电极及上述驱动电极被配置为：在上述可动电极和上述驱动电极分离的状态下，上述可动电极与上述固定电极接触，由此构成上述防止粘合单元。

由此，可以防止可动电极和驱动电极之间的粘合。