[发明专利]一种等离子化学反应器

权利要求书

1.一种等离子化学反应器，其特征在于其包括：

一个为等离子体反应提供一个空间的反应室，该反应室下部的中间设有一个排气口；和

一个一端与反应室壁面相连，另一端支撑一块基板使基板能够设置于反应室内中间部位，且安装后能够进行高度调节使基板保持一个水平状态的阴极组；

所述的阴极组包括：

一个安装在反应室内，用于安全地设置一块基板的低电极；

一个安装在反应室一侧使低电极能够设置于反应室的中间部位，用于支撑低电极的支撑体；和

一个支持支撑体且安装后能够进行高度调节从而能将低电极调为水平的水平调节器，该水平调节器支撑基极的一个底面，且其低端部分与反应室下部螺接，从而能够进行高度调节；其中所述的基极形成于支撑杆一端用于支撑低电极；

所述的支撑体包括：

一块与反应室一侧壁连接的固定板；

一根凸出于固定板一侧面的支撑杆；和

一个形成于支撑杆一端用于支撑低电极的基极。

2.如权利要求1所述的反应器，其特征在于在固定板和反应室之间的一个连接面上设置了一个用于防止反应室中的一种反应气体发生泄漏的密封件。

3.如权利要求1所述的反应器，其特征在于在固定板和反应室之间的一个连接面上设置了一根用于防止反应室中的一种反应气体发生泄漏的波纹管。

4.如权利要求3所述的反应器，其特征在于波纹管包括：

若干个均与固定板和反应室相连的支撑环；和

一块安装在各支撑环间的波纹板。

5.如权利要求4所述的反应器，其特征在于每个密封件均设置在固定板和支撑环之间的一个连接面以及反应室和支撑环之间的一个连接面上。

6.如权利要求1所述的反应器，其特征在于一个辅助螺母可以进一步地与水平调节器的一个下部连接，使水平调节器能够牢牢固定于反应室上。 

7.如权利要求1或6所述的反应器，其特征在于若干个水平调节器等间距地设置在基极的一个底面外周边上。