[发明专利]衬底键合设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种衬底键合设备，更具体地说，涉及一种包括衬底分离器的衬底键合设备。

背景技术

随着基于信息技术的社会的发展，对显示器件的需求越来越多。各种平板显示器件，诸如液晶显示器(LCD)、等离子体显示器(PDP)、电致发光显示器(ELD)和真空荧光显示器(VFD)，已经被开发出来。与更早的阴极射线管(CRT)技术相比，在这些显示器中，LCD具有优异的图像质量，轻且薄，而且能够在低能耗下运行。对关联的制造技术的改进，可以帮助LCD获得更广泛的应用。

发明内容

本发明提供了一种衬底键合设备，其能够将由夹持件保持的衬底从该夹持件分离。

本申请包含并概括性描述的衬底键合设备包括：板，所述板具有一个主表面，所述主表面与固定到所述板一侧的衬底相对；多个夹持件，位于所述板的所述一个主表面和所述衬底之间，用于保持衬底；以及衬底分离单元，用以从所述夹持件分离所述衬底。

衬底分离单元可包括用于推所述衬底使所述衬底从所述夹持件分离的推力器和安装在所述板的所述一个主表面上的基底板，所述基底板具有在其内部形成的用以安装所述推力器的安装空间。所述推力器经过位于所述安装空间一端的进出端口伸出所述基底板，以对所述衬底施压。

夹持件可围绕着所述进出端口设置。

衬底分离单元还可以包括弹性件，用以向伸出所述基底板的所述推力器提供回复力。

衬底分离单元还可以包括能够在从外面供给的气体作用下膨胀以对所述推力器施压的膜片。

衬底分离单元还可以包括活塞，用以对推力器施压，所述活塞包括活塞杆、用以盖住所述推力器顶部和侧面的盖子、和置于所述盖子中与所述推力器顶部接触的推力部。

在所述推力器的侧面和所述盖子的内侧可以安装O型圈。

衬底分离单元可包括置于所述夹持件之间的膨胀件，使得所述膨胀件在从外面供给的气体作用下膨胀，以对所述衬底施压。

所述衬底分离单元还可以包括具有通孔的基底块和将气体供给到所述通孔一侧的气体供给器，所述膨胀件位于所述通孔的另一侧，所述膨胀件的一侧和另一侧固定到所述基底块。

所述膨胀件可以按照基本上平行于所述板的所述一个主表面延伸的杆状形成。

衬底分离单元可包括用以向形成在所述板上的柱形沟槽的一端供给气体的气体供给器和置于所述柱形沟槽中用于在气体作用下移向所述柱形沟槽开放的另一端以对所述衬底施压的活塞。

所述板可包括形成在所述柱形沟槽的内周用以防止所述活塞从所述柱形沟槽分离的阻截突起。

附图说明

下面将参照附图详细描述实施例，其中，相同的附图标记表示相同的元件。附图中，

图1是本申请包含并概括性描述的衬底键合设备的剖视图；

图2是包含在图1所示衬底键合设备中的板上的衬底夹具布局的俯视图；

图3是根据本申请概括性描述的一个实施例的衬底夹具的局部切除的透视图；

图4和图5表示的是图3所示衬底夹具的操作；

图6是根据本申请概括性描述的一个实施例的衬底夹具的局部去除透视图；

图7和图8表示的是图6所示衬底夹具的操作；

图9是根据本申请概括性描述的另一实施例的衬底键合设备的剖视图；

图10是本申请包含并概括性描述的布置在板上的静电夹具俯视图；

图11是图10所示上板和静电夹具内部结构的前剖视图；

图12是图10所示上板的侧剖视图；

图13是根据本申请概括性描述的另一实施例的上板和静电夹具内部结构的前剖视图；以及

图14和图15表示的是图10所示静电夹具和图9所示衬底键合设备的操作。

具体实施方式

下面将参照图1～15更详细地描述示例性实施例。因为可以按各种形式修改实施例，所以，本发明范围不应理解为受到本申请概括性描述的实施例的限制。

通过在上面形成有电极的薄膜晶体管(TFT)衬底和上面施加有荧光物质的滤色器(CF)衬底之间注入液晶，可以制造LCD面板。可以在衬底外周施加密封剂，以防止液晶泄漏。在衬底之间可以设置分隔件，以维持衬底间的预定距离。

为了制造LCD，首先进行单独制备TFT衬底和CF衬底的工艺，接着是键合衬底的工艺，然后是向衬底间限定的空间内注入液晶材料的工艺。键合衬底的工艺在决定LCD质量方面是重要的。