[发明专利]基于微机电系统的开关器件

权利要求书

1.一种电流控制器件，包括：

第一MEMS开关，所述第一MEMS开关具有源极连接、漏极连 接和栅控电极；

第二MEMS开关，所述第二MEMS开关具有漏极连接、源极连 接和栅控电极，所述第二MEMS开关的源极连接与所述第一MEMS 开关的源极连接耦合，以及

与所述第一和第二MEMS开关电连接的电路，所述电路有助于 所述第一和第二MEMS开关的断开。

2.如权利要求1所述的电流控制器件，还包括与所述第一和第二 MEMS开关的栅控电极耦合的栅驱动器。

3.如权利要求2所述的电流控制器件，其中所述栅驱动器布置成 将所述第一和第二MEMS开关从第一导电状态改变到第二导电状态。

4.如权利要求3所述的电流控制器件，其中所述第一和第二 MEMS开关布置成使得所述第一和第二MEMS开关的耐受电压是所 述第一和第二MEMS开关各自的耐受电压之和。

5.如权利要求4所述的电流控制器件，其中所述电路是混合无弧 限制技术HALT电路。

6.如权利要求1所述的电流控制器件，还包括串联耦合于彼此 并布置在电流路径中的第三和第四MEMS开关，所述第三和第四 MEMS开关串联电耦合到所述第一和第二MEMS开关。

7.一种电流控制器件，包括：

第一对MEMS开关，所述第一对MEMS开关包括串联布置的第 一和第二MEMS开关，所述第一和第二MEMS开关的源极连接被直 接耦合；

与所述第一对MEMS开关耦合的第一栅驱动器；以及

与所述第一栅驱动器电连接的电路，所述电路有助于所述第一 MEMS开关的断开。

8.如权利要求7所述的电流控制器件，还包括：

第二对MEMS开关，所述第二对MEMS开关包括串联布置的第 三和第四MEMS开关，所述第三和第四MEMS开关的源极连接被直 接耦合；以及，

与所述第二对MEMS开关耦合的第二栅驱动器，所述第二栅驱 动器与所述电路电连接。

9.如权利要求8所述的电流控制器件，其中所述第二对MEMS 开关串联连接到所述第一对MEMS开关。

10.如权利要求8所述的电流控制器件，其中所述第二对MEMS 开关与所述第一对MEMS开关并联连接。

11.如权利要求9所述的电流控制器件，其中所述电路是混合无 弧限制技术HALT电路。

12.如权利要求11所述的电流控制器件，其中所述HALT电路 配置成从所述MEMS开关接收电能的传送，以响应所述MEMS开关 从闭合到断开改变状态。

13.如权利要求12所述的电流控制器件，其中所述第一对MEMS 开关的耐受电压是所述第一和第二MEMS开关的耐受电压之和。

14.如权利要求13所述的电流控制器件，其中所述第一对MEMS 开关的耐受电压是所述第一MEMS开关的耐受电压的两倍。

15.一种电流控制器件，包括：

第一MEMS开关，所述第一MEMS开关具有漏极连接和源极连 接；

第二MEMS开关，具有漏极连接和源极连接，所述第二MEMS 开关源极连接耦合到所述第一MEMS开关源极连接；

其中所述第一和第二MEMS开关还具有耦合到所述第一和第二 MEMS开关源极端子的单个共同栅极连接，所述栅极连接布置成改变 所述第一和第二MEMS开关的状态。

16.如权利要求15所述的电流控制器件，还包括耦合到所述栅极 连接的栅驱动器。

17.如权利要求16所述的电流控制器件，其中所述第一和第二 MEMS开关各自包括栅控电极，每个栅控电极直接耦合到所述栅极连 接。