[发明专利]面状加热器有效
申请号: | 200810176276.X | 申请日: | 2008-11-19 |
公开(公告)号: | CN101442845A | 公开(公告)日: | 2009-05-27 |
发明(设计)人: | 岛贯和彦;林大辅 | 申请(专利权)人: | 科发伦材料株式会社;东京毅力科创株式会社 |
主分类号: | H05B3/86 | 分类号: | H05B3/86;H05B3/14;H01L21/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 王 岳;李家麟 |
地址: | 日本东京都*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 加热器 | ||
1.一种面状加热器,其中碳丝发热体呈平面状地配置并密封在石 英玻璃板状体内部,并且对上述碳丝发热体供给电力的电源端子部设置 在上述石英玻璃板状体的下表面中央部,其特征在于,
上述电源端子部具备:对碳丝发热体供给电力的连接线;收容上述 连接线的小直径的石英玻璃管;以及收容上述小直径的石英玻璃管并且 上端部与加热器的下表面接触安装的大直径的石英玻璃管,
在上述大直径的石英玻璃管的下端部形成有凸缘部,并且在上述上 端部和上述凸缘部之间形成有使上述大直径的石英玻璃管的直径不同 的弯曲部,而且在上述弯曲部下方的大直径的石英玻璃管内,收容有由 金属板或不透明石英玻璃板或者它们的组合构成的第一热屏蔽板。
2.如权利要求1所述的面状加热器,其特征在于,
上述第一热屏蔽板存在多块,至少1块由金属板构成,
上述面状加热器还具备第二热屏蔽板,该第二热屏蔽板由多块不透 明石英玻璃板构成,而且收容在上述弯曲部上方的大直径的石英玻璃管 内,
上述第一热屏蔽板和第二热屏蔽板配置在大直径的石英玻璃管的 轴线方向上。
3.如权利要求1所述的面状加热器,其特征在于,
在上述弯曲部上方的大直径的石英玻璃管内收容有由不透明石英 玻璃板构成的第二热屏蔽板,
在上述石英玻璃板状体的下表面侧设有覆盖上述电源端子部的外 侧区域的第三热屏蔽板,
上述第三热屏蔽板由多块石英玻璃板构成,至少在与上述石英玻璃 板状体的下表面最接近的热屏蔽板中,在透明石英玻璃内收容有碳板。
4.如权利要求3所述的面状加热器,其特征在于,
上述第三热屏蔽板的每一块被设置于上述石英玻璃板状体下表面 的保持部件保持成与上述石英玻璃板状体下表面相平行。
5.如权利要求1所述的面状加热器,其特征在于,
在上述石英玻璃板状体的下表面中心部形成有凹部,并且在上述凹 部内收容有由碳构成的盖部件,进而在上述盖部件内收容有热电偶。
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