[发明专利]处理废气的方法和装置有效
申请号: | 200810176742.4 | 申请日: | 2002-11-29 |
公开(公告)号: | CN101417205A | 公开(公告)日: | 2009-04-29 |
发明(设计)人: | 篠原丰司;森洋一;铃木康彦;青野弘;白尾祐司 | 申请(专利权)人: | 株式会社荏原制作所 |
主分类号: | B01D53/34 | 分类号: | B01D53/34;B01D53/68;B01D53/86;F23G7/06 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 王永建 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 处理 废气 方法 装置 | ||
1.一种处理废气的装置,所述废气含有氟化合物和CO,所述装置包括:
第一处理部分,用于从废气中除去粉末成分、水溶性成分和水解成分中的至少一个;
加热氧化分解部分,其具有用于允许废气通过的空心部件、围绕所述空心部件设置以加热所述空心部件中的废气的加热设备以及位于所述空心部件中的接触增强设备,所述加热氧化分解部分用于通过将所述废气加热到700至900℃的温度在没有催化反应的情况下分解具有四个或更多碳原子的氟化合物和氧化CO,同时使所述废气与所述接触增强设备接触,从而产生废气的湍流;
氧气供应源,用于将氧气供应给所述加热氧化分解部分;
水供应源,用于将水供应给所述加热氧化分解部分;
催化反应部分,用于在600至900℃的温度下通过催化反应分解具有三个或更少碳原子的氟化合物;以及
第二处理部分,用于除去由此得到的废气中的酸性气体。
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述粉末成分、水溶性成分和水解成分中的至少一个通过吸附剂吸附或气液接触从所述废气中除去。
3.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述酸性气体通过吸附剂吸附或气液接触从所述废气中除去。
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