[发明专利]检查装置

权利要求书

1.一种检查装置，其具有载置被检查体的能够移动的载置台、配置在所述载置台的上方的探测卡、和控制所述载置台的控制装置，其过激励所述载置台，使载置在所述载置台上的所述被检查体的多个电极和所述探测卡的多个探针以规定的接触负荷接触，检查所述被检查体，其特征在于：

所述载置台具有可调整温度的载置体、支撑所述载置体的支撑体、设在所述支撑体内的升降驱动机构，在所述载置体和所述支撑体之间设置检测所述接触负荷的压力传感器，另外，所述控制装置根据所述压力传感器的检测信号控制所述升降驱动机构。

2.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于：

沿着所述载置体的外周部配置有多个所述压力传感器。

3.如权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于：

所述压力传感器由静电电容式压力传感器构成。

4.如权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于：

所述压力传感器构成为多个静电电容式压力传感元件纵横排列的阵列传感器。

5.如权利要求4所述的检查装置，其特征在于：

所述控制装置根据所述压力传感器的检测信号，三维或二维地简化所述接触负荷的三维分布状态，并通过显示装置实现可视化。