[发明专利]固态成像装置、其制造和驱动方法和照相机

权利要求书

1.一种固态成像装置，包括：

多个光接收部分，沿第一方向和垂直于所述第一方向的第二方向设置；

多个传输沟道，沿所述第二方向延伸，每个设置于相邻的所述光接收部分之间；

多个传输电极，包括：

多个第一传输电极，设置于所述传输沟道上，相邻的所述第一传输

电极设置于所述光接收部分的两侧，并在所述第一方向上相连接；和

多个第二传输电极，设置于与所述第一传输电极相同的层中，并在

所述传输沟道上；和

多个低电阻导线，所述低电阻导线的数目相应于所述传输电极的数目，所述低电阻导线在所述第一传输电极上方延伸，且具有比所述第一传输电极的电阻和所述第二传输电极的电阻小的电阻，

所述多个低电阻导线在各所述传输沟道上通过连接部分分别连接到所述多个传输电极。

2.根据权利要求1所述的固态成像装置，其中，所述传输沟道上的各个第二传输电极分开设置。

3.根据权利要求1所述的固态成像装置，其中，所述第二传输电极通过所述低电阻导线供给有读出电压，用于将在所述光接收部分积累的信号电荷读出到所述传输沟道。

4.根据权利要求1所述的固态成像装置，还包括光阴影掩模，以中间插入绝缘膜的状态，设置于所述第一传输电极、所述第二传输电极和所述低电阻导线上，所述光阴影掩模形成多个用于所述光接收部分的开口。

5.根据权利要求1所述的固态成像装置，其中所述传输电极还包括多个第三传输电极，设置于与所述第一传输电极和所述第二传输电极相同的层上，并沿所述第一方向在所述传输沟道上；且

所述多个低电阻导线包括三条低电阻导线，所述三条低电阻导线通过在所述第一传输电极上延伸来设置，所述三条低电阻导线分别与所述第一传输电极、所述第二传输电极和所述第三传输电极通过连接部分在所述传输沟道上连接。

6.根据权利要求5所述的固态成像装置，其中，在所述传输沟道上各个所述第三传输电极分开设置。

7.根据权利要求1所述的固态成像装置，其中，

所述第一传输电极和所述第二传输电极由多晶硅形成，且所述低电阻导线由钨形成。

8.一种制造固态成像装置的方法，所述固态成像装置包括：多个光接收部分，沿第一方向和垂直于所述第一方向的第二方向设置；多个传输沟道，沿所述第二方向延伸，每个设置于相邻的所述光接收部分之间；多个传输电极，包括设置于所述传输沟道上的多个第一传输电极和设置在与所述第一传输电极相同的层中且在所述传输沟道上的多个第二传输电极，相邻的所述第一传输电极设置于所述光接收部分的两侧，并在所述第一方向上相连接；和低电阻导线，所述低电阻导线的数目相应于传输电极的数目，所述低电阻导线在所述第一传输电极上方延伸，且具有的电阻小于所述第一传输电极和所述第二传输电极的电阻，所述低电阻导线在各自的传输沟道上通过连接部分分别连接到所述传输电极，

所述方法包括如下步骤：

在所述第一方向和所述第二方向上形成所述多个光接收部分；

形成在所述第二方向上延伸的传输沟道，设置每个所述传输沟道于相邻的所述光接收部分之间；且

在所述传输沟道上形成所述第一传输电极，相邻的所述第一传输电极设置于所述光接收部分的两侧，并在所述第一方向上相连接；

在所述传输沟道上在与所述第一传输电极相同的层中形成所述第二传输电极；和

形成其数目与所述传输电极的数目对应、在所述第一传输电极上延伸、具有的电阻小于所述第一传输电极和所述第二传输电极的电阻、且在各自的传输沟道上通过连接部分分别连接到所述传输电极的低电阻导线。

9.根据权利要求8所述的制造固态成像装置的方法，其中，在所述传输沟道上分开设置各个所述第二传输电极。

10.根据权利要求8所述的制造固态成像装置的方法，包括步骤：以中间插入绝缘膜的状态，形成设置于所述第一传输电极、所述第二传输电极和所述低电阻导线上的光阴影掩模；所述光阴影掩模形成多个用于所述光接收部分的开口。