[发明专利]等离子天线以及含该天线的等离子处理装置

权利要求书

1.一种等离子天线，其特征在于：其用于等离子发生装置的等离子 天线中，其中前述等离子发生装置包含：

至少一个四方形电介质；

接地部，其位于前述至少一个四方形电介质的中央；

第1分支部，其位于前述至少一个四方形电介质的上方，并位于 前述接地部的垂直线上；以及

前述等离子天线，

其中前述等离子天线由下述两部分构成：

第1天线，其具有下述形状：从前述第1分支部沿水平方向向前 述至少一个四方形电介质的外周分支，各前述分支的天线沿垂直方向 向下延伸，并再次沿水平方向分支，并沿前述至少一个四方形电介质 的外周延伸，而向前述至少一个四方形电介质的中央集中，并在前述 接地部接地；以及

第2天线，其具有与前述第1天线相同的形状，但其尺寸小于前 述第1天线一定的比例，并在前述第1天线的内侧形成；

其中前述第1天线和前述第2天线并联连接。

2.根据权利要求1所述的等离子天线，其特征在于：前述第1天线 具有下述形状：其向前述至少一个四方形电介质的4个拐角分支。

3.根据权利要求2所述的等离子天线，其特征在于：前述等离子天 线具有下述形状：其从前述至少一个四方形电介质的4个拐角分别再次分 支后向前述至少一个四方形电介质的中央集中，并在前述接地部接地。

4.根据权利要求2所述的等离子天线，其特征在于：前述第1分支 部和前述第2天线上分支出的第2分支部虽电气性导通，且前述第1天线 和前述第2天线并联连接，但在前述第1分支部和前述第2分支部之间形 成可变电容器。

5.一种等离子处理装置，其特征在于，包括：

工序室；

电介质，其形成于前述工序室的中间，以便把前述工序室分割为上部 的天线室和下部的基板处理室；

气体供给部，其向前述基板处理室提供气体；

等离子天线，其在前述天线室内形成；

接地部，其位于前述电介质的中央；以及

第1分支部，其位于前述电介质的上方，并位于前述接地部的垂直线 上，

其中前述等离子天线包括：

第1天线，其具有下述形状：从前述第1分支部沿水平方向向前述电 介质的外周分支，各前述分支的天线沿垂直方向向下延伸，并再次沿水平 方向分支，并沿前述电介质的外周延伸，而向前述电介质的中央集中，并 在接地部接地；以及

第2天线，其具有与前述第1天线相同的形状，但其尺寸小于前述第 1天线一定的比例，并在前述第1天线内侧形成；

其中前述第1天线和前述第2天线并联连接。

6.根据权利要求5所述的等离子处理装置，其特征在于：前述第1 天线具有向前述电介质的4个拐角分支的形状。

7.根据权利要求6所述的等离子处理装置，其特征在于：前述等离 子天线从前述电介质的4个拐角分别再次分支后向前述电介质的中央集 中，并在前述接地部接地。

8.根据权利要求5所述的等离子处理装置，其特征在于：前述第1 分支部和前述第2天线上分支出的第2分支部虽电气性导通，且前述第1 天线和前述第2天线并联连接，但在前述第1分支部和前述第2分支部之 间形成可变电容器。

9.根据权利要求5所述的等离子处理装置，其特征在于：前述电介 质分割为4部分，支持在棋盘形状的十字形框架上。