[发明专利]三维形状测量方法

说明书

技术领域

本发明涉及三维形状测量方法，更具体地说，涉及下述测量方法，即，在检查对象物不处于正常检查模式中，在有裸板信息的板时通过DB(Date Base：数据库)检索裸板信息，在由无裸板信息的供应厂商供应的板时通过裸板(bare board)学习，能够测量板的目标对象物(target object)的三维形状。

背景技术

现有技术的三维形状测量方法如图9所示，为了测量三维形状，为了获得相应于基准面的基准相位，将产生自照明源(图中未示出)的光照射到光栅装置(图中未示出)，使光栅图案照明照射到基准面(S10)。在将光栅图案照明照射到基准面时，按照能够利用相移算法(bucket algorithm)的方式使用PZT激励器(Piezoelectric Actuator：压电激励器，图中未示出)以微小间隔移送光栅同时照射到基准面，并通过CCD摄影机(图中未示出)和图像板(图中未示出)获得光栅图案图像(S11)。当由图像板获得光栅图案图像时，对光栅图案图像适用相移算法(S12)，以获得相对于基准面的基准相位(S13)。

当获得与基准面相应的基准相位时，为了获得与检查对象相应的物体相位，首先将检查对象物放置到移送台上，使产生自照明源的光照射到光栅(图中未示出)，以照射到检查对象物的测量面(S15)。在照射光栅图案照明时，按照能够利用相移算法的方式使用PZT激励器以微小间隔移送光栅同时照射到测量面，并通过CCD摄影机和图像板获得由测量面反射的光栅图案图像(S16)。当在图像板上获得由测量面反射的光栅图案图像时，对光栅图案图像适用相移算法(S17)，以获得检查对象物的物体相位(S18)。

当获得基准相位和物体相位时，从基准相位中扣除物体相位(S20)，获得莫尔条纹相位(S21)。当获得莫尔条纹相位时，将该莫尔条纹相位展开(S22)，利用展开的结果来求解检查对象物的实际高度信息(S23)，从而测量测量物的三维形状。

发明内容

但是，上述的现有技术的三维形状测量方法，在测量不是通常进行的检查对象物的全新的检查对象物的情况下，由于以手动方式一一计算测量条件后再实施，因此存在增加作业者的疲劳、降低测量作业的生产效率的问题。

因此，本发明是为了解决上述问题而提出的，目的在于提供一种三维形状测量方法，在检查对象物处于正常检查模式的情况下，测量基于正常检查模式的板的三维形状，在检查对象物不处于正常检查模式的情况下，通过数据库检索裸板信息，或者在由无裸板信息的供应厂商供应的板的情况下，通过裸板学习，测量板的三维形状，以能够改善测量作业的生产效率。

本发明的另一目的在于，在不同步骤使在测量三维形状时使用的照明源的亮度恒定维持来测量三维形状，由此能够改善三维形状的测量质量。

为了达到上述目的，本发明的三维形状测量方法包括下述步骤：由中央控制部控制模块控制部和图像获取部，以测量第一照明源的亮度；当第一照明源的亮度测量结束时，由中央控制部控制模块控制部和图像获取部，以测量将相位变换为高度的因数；当第一照明源的亮度和将相位变换为高度的因数被测量时，由中央控制部确认测量作业是否为正常检查模式；当在确认是否为正常检查模式的步骤中被确认为正常检查模式时，由中央控制部控制模块控制部和图像获取部，以测量基于正常检查模式的板的三维形状；当在确认是否为正常检查模式的步骤中被确认为不是正常检查模式时，由中央控制部检索数据库以确认是否存在相对于板的裸板信息；在确认是否存在裸板信息的步骤中，当不存在裸板信息时，由中央控制部控制模块控制部和图像获取部，实施裸板学习；在确认是否存在裸板信息的步骤中，当存在裸板信息时或者当实施裸板学习的步骤产生裸板学习信息时，由中央控制部控制模块控制部和图像获取部，以测量基于学习检查模式的板的三维形状；当在测量基于正常检查模式的板的三维形状的步骤中和在测量基于学习检查模式的板的三维形状的步骤中板的三维形状被分别测量时，中央控制部利用所测量的三维形状信息分析板是否为正常。

附图说明

图1为表示本发明的三维形状测量方法适用的三维形状测量系统的图；

图2A至2C为表示各板、裸板和校准目标的结构的图；

图3为表示本发明三维形状测量方法的流程图；

图4为详细表示对图3所示的第一照明源的亮度进行测量的步骤的流程图；

图5为详细表示对图3所示的将相位变换成高度的因数进行测量的步骤的流程图；