[发明专利]有机金属化学气相沉积反应器

权利要求书

1.一种使用反应气体在衬底上沉积膜的有机金属化学气相沉积 反应器，所述有机金属化学气相沉积反应器包括：

加热构件，所述加热构件具有用于加热衬底和承载衬底的承载面； 和

导管，所述导管用于将反应气体引导到衬底；其中

所述加热构件是能够旋转的，且其承载面面向所述导管的内部；

所述导管为横向三层流动系统，并具有第一管道和第二管道，且 所述第一管道和第二管道在承载面上游端的上游的所述导管端部合 并；

所述导管的高度沿反应气体流动方向，从第一点到第二点朝向下 游单调降低，从第二点到第三点保持不变，从第三点朝向下游单调降 低；和

所述第一点位于在衬底承载位置的上游端的上游的承载面上，所 述第三点位于所述加热构件上。

2.如权利要求1所述的有机金属化学气相沉积反应器，其中所述 第二点位于衬底承载位置的上游端的上游。

3.如权利要求2所述的有机金属化学气相沉积反应器，其中所述 第二点位于承载面自身的上游端的上游。

4.如权利要求1～3中任一项所述的有机金属化学气相沉积反应 器，其中所述第一点位于第一管道和第二管道合并的位置的下游。

5.如权利要求1～3中任一项所述的有机金属化学气相沉积反应 器，其中所述导管的高度从第三点到第四点朝向下游单调降低，所述 第四点位于衬底承载位置的下游端，或所述下游端的下游。

6.如权利要求1～3中任一项所述的有机金属化学气相沉积反应 器，其中所述导管具有在第一点和第二点之间形成的第一倾斜部分和 从第三点朝向下游形成的第二倾斜部分，且所述第一倾斜部分和第二 倾斜部分在反应气体流动方向上下倾。