[发明专利]吸引装置和包括其的液滴喷出装置及电光学装置及其制法

说明书

技术领域

本发明涉及包括对喷墨方式的多个功能液滴喷出头的喷嘴面可自由分离接触地密接的多个喷头帽(head cap)的吸引装置、和包括其的液滴喷出装置、以及电光学装置的制造方法和电光学装置。

背景技术

以往，已知对应于装载了12个功能液滴喷出头的7台滑架单元(carriage unit)而包括装载了12个喷头帽的7台吸引单元的吸引装置(参照特开2005-254798号公报)。

各吸引单元包括：将12个喷头帽装载在帽板上的帽单元；使12个喷头帽隔着帽板与12个功能液滴喷出头分离接触的分离接触机构；与12个喷头帽连通的废液箱；将二次侧连接到废液箱而使吸引压力作用于废液箱的喷射器；以及连接12个喷头帽和废液箱的吸引流路。

在使各喷头帽紧贴到各功能液滴喷出头时，若驱动喷射器以将压缩空气导入到一次侧，则废液箱的箱内部及吸引流路成为负压，通过12个喷头帽从12个功能液滴喷出头中吸引功能液。

在这样的吸引装置中，即使在各吸引单元中，12个功能液滴喷出头中有的因为孔眼堵塞而需要进行吸引，有的不需要，但也将它们一并进行吸引处理，所以存在浪费地消耗了功能液的问题。在这样的情况下，考虑在各功能液滴喷出头的单独吸引流路中设置开关阀等，只对需要进行吸引的功能液滴喷出头进行吸引。

但是，推测出：在这样做时，供吸引的功能液滴喷出头的个数变化时，各喷头帽中的吸引力变化(吸引流量变化)了，不可能对于每一个功能液滴喷出头适当地进行吸引。

发明内容

本发明的课题是提供一种即使同时进行吸引处理的喷头帽的数量变化，也能够在各喷头帽中按照相同的吸引压力进行吸引的吸引装置和包括其的液滴喷出装置、以及电光学装置的制造方法和电光学装置。

本发明的吸引装置设置在通过多个功能液滴喷出头对工件进行描绘的喷墨方式的液滴喷出装置中，与各功能液滴喷出头的喷嘴面紧贴地吸引功能液，其特征在于包括：与多个功能液滴喷出头相对应的多个喷头帽；具有上游侧被连接到多个喷头帽的多个单独流路、以及通过合流部分被连接到多个单独流路的下游端的合流流路的吸引流路；插入设置在各单独流路中，对各单独流路进行开闭的多个流路开闭部件；连接合流流路的下游端并由密闭箱构成的废液箱；向一次侧导入压缩空气，并且将二次侧连接到废液箱的上部空间的喷射器；对喷射器的一次侧压缩空气的压力进行调整的压力调整部件；和对压力调整部件进行控制的控制部件，控制部件根据多个流路开闭部件中开放的流路开闭部件的开放数目，控制压力调整部件，以使多个喷头帽中各自的吸引压力为一定。

通过该结构，在多个功能液滴喷出头中有进行吸引处理和不进行吸引处理的喷头时，能够通过各流路开闭部件的开闭来执行，并且根据开放的流路开闭部件的开放数目来控制调节器，从而能够保持各喷头帽中的吸引压力恒定。由此能够保持各喷头帽的吸引流量为一定量，能够对于每一个功能液滴喷出头进行适当的吸引处理，而与进行吸引处理的功能液滴喷出头的数目没有关系。此外，通过使用喷射器作为吸引源，能够构筑对功能液的耐药性优异的系统。

在该情况下，作为优选，还包括对吸引时的各废液箱的压力进行检测的压力检测部件，控制部件控制压力调整部件，以使废液箱内的压力成为与开放数目相对应的规定压力。

同样地，作为优选，还包括流量检测部件，其检测通过吸引而流入到各废液箱中的功能液流量，控制部件控制压力控制部件，以使流入到废液箱中的功能液流量成为与开放数目相对应的规定的流量。

根据这些结构，可以高精度地进行控制，以在任何一个喷头帽中，吸引压力都始终一定，可以一边考虑功能液的类别，同时适当地进行对功能液滴喷出头的吸引处理。

在这些情况下，作为优选，多个功能液滴喷出头装载在一个喷头板上，与此相对应，多个喷头帽装载在一个帽板上。

根据该结构，即使对于装载在一个喷头板上的多个功能液滴喷出头，有进行吸引处理的喷头和不进行吸引处理的喷头，也能够适当地进行吸引处理。

同样地，作为优选，多个功能液滴喷出头装载在多个喷头板上，与此相对应，多个喷头帽装载在多个帽板上。

根据该结构，即使对于装载在多个喷头板上的多个功能液滴喷出头，有进行吸引处理的喷头和不进行吸引处理的喷头，也能够适当地进行吸引处理。

本发明的液滴喷出装置的特征在于，包括：一边使喷墨方式的多个功能液滴喷出头相对于工件移动，一边从各功能液滴喷出头中喷出功能液滴对工件进行描绘的描绘部件；和上述吸引装置。

根据该结构，由于能够适当地进行多个功能液滴喷出头的功能维持和功能恢复，所以能够以高的描绘品质对工件进行处理，能够提高生产率。