[发明专利]转换反应气体的分离回收方法

权利要求书

1.转换反应气体的分离回收方法，其特征在于，具有：

在多晶硅反应炉的内部，以三氯硅烷和氢为原料，制造多晶硅的工序；

由上述多晶硅反应炉排出的排出气体经冷却器凝结液化而得到凝结液，由该凝结液蒸馏分离四氯化硅的工序；

在转换炉内1000～1300℃下使上述四氯化硅和氢气进行式SiCl₄＋H₂→SiHCl₃＋HCl所示的转换反应，生成三氯硅烷的工序；

将在上述转换炉生成的三氯硅烷15～22wt％、未反应的四氯化硅68～78wt％、氢气1.5～2.5wt％、盐酸气0.5～1.0wt％、二氯硅烷0.5～1.0wt％和含有六氯化二硅的高分子氯化合物1.3～1.8wt％的混合气体由上述转换炉排出的工序；

冷却混合气体，用于制造凝结液，且分离氢气的工序；

由冷却上述混合气体得到的凝结液蒸馏分离二氯硅烷、三氯硅烷和四氯化硅的工序和

馏出回收六氯化二硅的六氯化二硅的蒸馏工序。

2. 如权利要求1所述的转换反应气体的分离回收方法，其具有：由冷却上述混合气体得到的凝结液馏出二氯硅烷后使三氯硅烷馏出的三氯硅烷的蒸馏工序、由三氯硅烷的蒸馏工序的残液馏出四氯化硅的四氯化硅的蒸馏工序、和由四氯化硅的蒸馏工序的残液馏出回收六氯化二硅的六氯化二硅的蒸馏工序。

3. 如权利要求1所述的转换反应气体的分离回收方法，其中，在上述蒸馏分离二氯硅烷、三氯硅烷和四氯化硅的工序中，在同一蒸馏工序中连续进行三氯硅烷的蒸馏和四氯化硅的蒸馏。

4. 如权利要求1或2所述的转换反应气体的分离回收方法，其中，在六氯化二硅的蒸馏工序中，舍弃初馏后，回收以六氯化二硅为主成分的高温蒸馏部分。

5. 如权利要求1或2所述的转换反应气体的分离回收方法，其中，在六氯化二硅的蒸馏工序中，舍弃初馏后，回收以四氯化二硅烷为主体的中间馏分，再回收以六氯化二硅为主体的高温蒸馏部分。

6. 如权利要求2所述的转换反应气体的分离回收方法，其中，利用各个蒸馏塔依次连续地进行三氯硅烷的蒸馏工序、四氯化硅的蒸馏工序、和六氯化二硅的蒸馏工序。

7. 如权利要求2所述的转换反应气体的分离回收方法，其中，在三氯硅烷的蒸馏工序和四氯化硅的蒸馏工序之间、或者四氯化硅的蒸馏工序和六氯化二硅的蒸馏工序之间、或者四氯化硅蒸馏工序之中、或者六氯化二硅的蒸馏工序之中设置氯导入工序。

8. 如权利要求7所述的转换反应气体的分离回收方法，其中，在各蒸馏工序中导入氯进行蒸馏后，将蒸馏残液中残留的氯脱气。

9. 如权利要求7所述的转换反应气体的分离回收方法，其中，在蒸馏残液中导入惰性气体，通过发泡将氯脱气。

10. 如权利要求7所述的转换反应气体的分离回收方法，其中，在三氯硅烷的蒸馏工序、四氯化硅的蒸馏工序的至少任一蒸馏工序之后，在蒸留残液中导入氯进行氯化后，将残留氯脱气，在下面的蒸馏工序中导入该残液。

11. 如权利要求7所述的转换反应气体的分离回收方法，其中，在三氯硅烷的蒸馏工序、四氯化硅的蒸馏工序的至少任一蒸馏工序之后，在蒸留残液中导入氯进行氯化后，在下面的蒸馏工序中导入该含有氯的蒸馏残液，在蒸馏的同时将氯脱气。