[发明专利]热等静压法生产ITO靶材的方法有效
| 申请号： | 200810179368.3 | 申请日： | 2008-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN101407904A | 公开（公告）日： | 2009-04-15 |
| 发明（设计）人： | 陈立三;彭晓苏;陈卫飞;李鹏飞;陈军辉;佘旭 | 申请（专利权）人： | 株洲冶炼集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 李丙林;张 英 |
| 地址： | 412004*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 静压 生产 ito 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种通过热等静压法制备ITO靶材的方法，包括将ITO粉料通过冷等静压压制成型后进行热等静压处理，其特征在于，所使用的ITO粉料经过不低于1000℃温度的煅烧，并且在热等静压处理时在包套与靶材之间设置一层石墨纸。
2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述石墨纸的厚度为0.1～2.0mm。
3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述石墨纸的厚度为0.3～1mm。
4.根据权利要求1所述的方法，其中，采用化学共沉淀方法生产ITO粉料。
5.根据权利要求4所述的方法，其中，用盐酸或硝酸溶解金属铟，用氯化锡作为锡盐，沉淀剂为氨水或碳铵。
6.根据权利要求5所述的方法，其中，经所述煅烧后，所得ITO粉料中的氯含量小于100ppm。
7.根据权利要求1所述的方法，其中，所述煅烧是在不低于1200℃的温度下进行。
8.根据权利要求1所述的方法，其中，所述石墨纸的纯度在99.5％以上。
9.根据权利要求1所述的方法，其中，在900～1250℃、100～200MPa下进行热等静压处理。
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