[发明专利]结合方法及其装置有效
申请号: | 200810179513.8 | 申请日: | 2008-11-28 |
公开(公告)号: | CN101444873A | 公开(公告)日: | 2009-06-03 |
发明(设计)人: | 大桥修;峰岸敬一;吉田安德;和田光司 | 申请(专利权)人: | SMC株式会社 |
主分类号: | B23K20/00 | 分类号: | B23K20/00;B23K20/14 |
代理公司: | 上海市华诚律师事务所 | 代理人: | 徐申民;张惠萍 |
地址: | 日本国东京都千代田区外神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 结合 方法 及其 装置 | ||
1.一种扩散结合方法,其特征在于,在对由金属形成并且相互接触的第一结合物体 (W1)和第二结合物体(W2)进行加热时,并且压力被施加到所述第一结合物体(W1)和 所述第二结合物体(W2),并且所述第一结合物体(W1)的原子扩散进入所述第二结合物 体(W2)中,所述第二结合物体(W2)的原子也扩散进入所述第一结合物体(W1)中,从 而使两个结合物体(W1,W2)连接在一起,所述方法包含以下步骤:
将所述第一结合物体(W1)和所述第二结合物体(W2)放置在结合容器(12)中,并 将氮气引入所述结合容器(12)中,同时将所述结合容器(12)内的压力控制在3Pa至105Pa 之间;和
对所述第一结合物体(W1)和所述第二结合物体(W2)加热,同时对所述第一结合物 体(W1)和所述第二结合物体(W2)加压。
2.根据权利要求1所述的扩散结合方法,其特征在于,通过通电对所述第一结合物 体(W1)和所述第二结合物体(W2)进行加热。
3.根据权利要求1所述的扩散结合方法,其特征在于,通过高频加热对所述第一结 合物体(W1)和所述第二结合物体(W2)进行加热。
4.根据权利要求1所述的扩散结合方法,其特征在于,能够使氮进入固溶体的材料 被用作所述第一结合物体(W1)或所述第二结合物体(W2)。
5.根据权利要求4所述的扩散结合方法,其特征在于,钢材料、镍合金以及铜合金 中的任意一种被用作所述第一结合物体(W1)或所述第二结合物体(W2)。
6.根据权利要求4所述的扩散结合方法,其特征在于,掺氮不锈钢被用作所述第一 结合物体(W1)或所述第二结合物体(W2)。
7.一种扩散结合装置(10),其特征在于,在对由金属形成且相互接触的第一结合物 体(W1)和第二结合物体(W2)进行加热时,压力被施加到所述第一结合物体(W1)和所 述第二结合物体(W2),并且所述第一结合物体(W1)的原子扩散进入所述第二结合物体 (W2)中,所述第二结合物体(W2)的原子也扩散进入所述第一结合物体(W1)中,从而 使两个结合物体(W1,W2)结合在一起,所述结合装置包括:
对所述第一结合物体(W1)和所述第二结合物体(W2)加热的加热机构(14,16,18);
其中容纳所述第一结合物体(W1)和所述第二结合物体(W2)的结合容器(12);
向所述结合容器(12)提供氮气的氮气供给源(22);
实施从所述结合容器(12)中排气的排气机构(30,31);和
用于控制由所述氮气供给源(22)提供并被引入所述结合容器(12)内的氮气压力的 压力控制机构(38),
其中,所述压力控制机构(38)将氮气压力控制在3-105Pa之间。
8.根据权利要求7所述的扩散结合装置(10),其特征在于,所述排气机构(30,31) 至少包括回转泵(30)。
9.根据权利要求7所述的扩散结合装置(10),其特征在于,所述加热机构包括含有 电源(18)和电极(14,16)的通电机构。
10.根据权利要求7所述的扩散结合装置(10),其特征在于,所述加热机构包括高 频加热机构。
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