[发明专利]结合方法及其装置

权利要求书

1.一种扩散结合方法，其特征在于，在对由金属形成并且相互接触的第一结合物体 (W1)和第二结合物体(W2)进行加热时，并且压力被施加到所述第一结合物体(W1)和 所述第二结合物体(W2)，并且所述第一结合物体(W1)的原子扩散进入所述第二结合物 体(W2)中，所述第二结合物体(W2)的原子也扩散进入所述第一结合物体(W1)中，从 而使两个结合物体(W1，W2)连接在一起，所述方法包含以下步骤：

将所述第一结合物体(W1)和所述第二结合物体(W2)放置在结合容器(12)中，并 将氮气引入所述结合容器(12)中，同时将所述结合容器(12)内的压力控制在3Pa至10⁵Pa 之间；和

对所述第一结合物体(W1)和所述第二结合物体(W2)加热，同时对所述第一结合物 体(W1)和所述第二结合物体(W2)加压。

2.根据权利要求1所述的扩散结合方法，其特征在于，通过通电对所述第一结合物 体(W1)和所述第二结合物体(W2)进行加热。

3.根据权利要求1所述的扩散结合方法，其特征在于，通过高频加热对所述第一结 合物体(W1)和所述第二结合物体(W2)进行加热。

4.根据权利要求1所述的扩散结合方法，其特征在于，能够使氮进入固溶体的材料 被用作所述第一结合物体(W1)或所述第二结合物体(W2)。

5.根据权利要求4所述的扩散结合方法，其特征在于，钢材料、镍合金以及铜合金 中的任意一种被用作所述第一结合物体(W1)或所述第二结合物体(W2)。

6.根据权利要求4所述的扩散结合方法，其特征在于，掺氮不锈钢被用作所述第一 结合物体(W1)或所述第二结合物体(W2)。

7.一种扩散结合装置(10)，其特征在于，在对由金属形成且相互接触的第一结合物 体(W1)和第二结合物体(W2)进行加热时，压力被施加到所述第一结合物体(W1)和所 述第二结合物体(W2)，并且所述第一结合物体(W1)的原子扩散进入所述第二结合物体 (W2)中，所述第二结合物体(W2)的原子也扩散进入所述第一结合物体(W1)中，从而 使两个结合物体(W1，W2)结合在一起，所述结合装置包括：

对所述第一结合物体(W1)和所述第二结合物体(W2)加热的加热机构(14，16，18)；

其中容纳所述第一结合物体(W1)和所述第二结合物体(W2)的结合容器(12)；

向所述结合容器(12)提供氮气的氮气供给源(22)；

实施从所述结合容器(12)中排气的排气机构(30，31)；和

用于控制由所述氮气供给源(22)提供并被引入所述结合容器(12)内的氮气压力的 压力控制机构(38)，

其中，所述压力控制机构(38)将氮气压力控制在3-10⁵Pa之间。

8.根据权利要求7所述的扩散结合装置(10)，其特征在于，所述排气机构(30，31) 至少包括回转泵(30)。

9.根据权利要求7所述的扩散结合装置(10)，其特征在于，所述加热机构包括含有 电源(18)和电极(14，16)的通电机构。

10.根据权利要求7所述的扩散结合装置(10)，其特征在于，所述加热机构包括高 频加热机构。