[发明专利]液晶板组装系统

权利要求书

1.一种基板粘合系统，其特征在于，构成为将加载互锁室和脱气室以及基板粘合室直线状配置，同时，在各室间设置门阀，在上述脱气室内设置存储多片下基板的收纳机构，在上述粘合室设置与在脱气室之间设置的上述门阀不同的门阀，从该门阀通过运送机器人运入上侧基板并保持在上工作台，同时，上述运送机器人构成为从下工作台接收粘合后的制品并运出，将滴下有液晶的下侧基板运入上述加载互锁室，上述下基板通过传送器运入上述脱气室，依次收纳在设置于上述脱气室的收纳机构，按照运入的顺序，将上述下基板交接到传送器，向上述粘合室运送。

2.如权利要求1所述的基板粘合系统，其特征在于，

构成为从大致直线状配置的上述加载互锁室开始相对于上述粘合室平行地设置运送处理的基板以及粘合后的制品的直线状的移动路径，设置具有机械手的上述运送机器人，所述运送机器人在移动路径上保持并运送处理的基板以及制品，配置构成为在移动路径的一方侧端部设置运入以及运出处理的基板的周转室，在另一方的端部设置临时保管完成的制品的保管室。

3.如权利要求1所述的基板粘合系统，其特征在于，

在上述脱气室具有对在上述传送器上运送的下基板进行对位的对位机构，在通过上述对位机构对位后，使上述收纳机构上升，将下基板接收到基板架，使收纳机构上升，直至上述传送器位于基板架间。