[发明专利]包括具有复合载体的洛仑兹致动器的光刻设备

权利要求书

1.一种光刻设备，包括：

照射系统，被构成为调整辐射束；

支撑件，被构造为支撑图案形成装置，该图案形成装置能够将图案在 辐射束的横截面中赋予辐射束以形成图案化的辐射束；

衬底台，被构造为保持衬底；

投影系统，被构成为将图案化的辐射束投影到衬底的目标部分上；

致动器，被构造且设置成在第一和第二部分之间产生偏移力，以相对 彼此设置第一和第二部分，该致动器包括：

第一磁体子组件，其连接到第一和第二部分中的一个，且被构成 为在基本垂直于偏移力的方向上提供磁场；和

导电元件，其连接到第一和第二部分中的另一个且被设置在第一 磁体子组件附近，且被构成为通过由导电元件携带的电流与磁场的相互作 用产生偏移力，

第一磁体子组件包括至少一组的至少两个相邻设置的磁体和背 块，所述磁体被取向为使得它们的磁体极化基本彼此相反，所述背块由磁 体通量引导材料制成且连接磁体以引导其间的磁通量，

其中第一磁体子组件包括由非磁通量引导材料制成的载体，该载 体包括其中嵌入了至少一组背块和磁体的至少一个凹槽，所述载体与嵌入 到其中的背块和磁体一起形成刚性的结构，其中载体包括其中设置了所述 至少一个凹槽的板。

2.如权利要求1的光刻设备，其中所述至少一组背块和磁体由至少覆盖 磁体的一部分侧表面的载体壁部分确定界限。

3.如权利要求1的光刻设备，其中所述至少一组背块和磁体由至少基本 在其整个高度上覆盖磁体的一部分侧表面的载体壁部分确定界限。

4.如权利要求1的光刻设备，其中所述至少一组背块和磁体由基本上延 伸到磁体前表面的载体壁部分确定界限。

5.如权利要求1的光刻设备，其中所述至少一组背块和磁体由至少覆盖 磁体多于一半的侧表面的载体壁部分确定界限。

6.如权利要求1的光刻设备，其中载体被构成为覆盖至少一组背块和磁 体的至少一部分背面侧。

7.如权利要求1的光刻设备，其中载体由纤维增强塑料材料制成。

8.如权利要求7的光刻设备，其中载体由碳纤维增强环氧树脂材料制 成。

9.如权利要求1的光刻设备，其中背块具有基本上与背块连接的磁体的 背面侧相对应的尺寸。

10.如权利要求1的光刻设备，其中背块由钴铁制成。

11.如权利要求1的光刻设备，其中载体被构成为承载至少三组背块和 磁体，每一组都沿着等腰三角形各个等分线设置。

12.如权利要求1的光刻设备，其中该组背块和磁体被粘结到载体凹槽。

13.如权利要求1的光刻设备，其中背块被粘附到其连接的磁体。

14.如权利要求1的光刻设备，其中致动器包括子载体，该子载体被构 成为基本覆盖载体前侧和所述至少一组背块和磁体。

15.如权利要求14的光刻设备，其中子载体由纤维增强塑料材料制成。

16.如权利要求14的光刻设备，其中子载体由碳纤维增强环氧树脂材料 制成。

17.如权利要求14的光刻设备，其中子载体由陶瓷材料制成。

18.如权利要求17的光刻设备，其中陶瓷材料是碳化硅。

19.如权利要求17的光刻设备，其中陶瓷材料是氧化铝。

20.如权利要求14的光刻设备，其中子载体由具有金属硬度的碳纤维增 强环氧树脂材料制成。

21.如权利要求1的光刻设备，其中致动器还包括第二磁体子组件，该 导电元件置于第一和第二磁体子组件之间。

22.如权利要求1的光刻设备，其中导电元件是线圈。